[实用新型]一种单晶圆搬运装置

权利要求书

1.一种单晶圆搬运装置，其特征在于：包括CST进料单元(1)、晶圆夹爪转台单元(2)、晶圆对中单元(3)、真空吸盘单元(4)，所述CST进料单元(1)上置有用于放置晶圆(5)的晶圆载体(6)，所述晶圆载体(6)由CST进料单元(1)的水平输送模组运送至提升工位，并经提升机构(102)提升至晶圆夹爪转台单元(2)的取货位置，所述晶圆夹爪转台单元(2)包括转台(201)和晶圆框边夹持气爪(202)，所述晶圆框边夹持气爪(202)安装在转台(201)上，所述晶圆框边夹持气爪(202)在转台(201)的带动下旋转至取货位置夹取晶圆(5)，并将晶圆(5)输送至晶圆对中单元(3)正上方取片位置，所述晶圆对中单元(3)包括行程可调气缸(301)以及连接在行程可调气缸(301)活塞端的顶针(302)，所述晶圆对中单元(3)通过顶针(302)托举正上方的晶圆(5)使其在垂直方向被限位，并由顶针(302)将晶圆(5)向下输送至晶圆对中单元(3)的对中位置，所述真空吸盘单元(4)用于吸取晶圆对中单元(3)上的晶圆(5)，并将晶圆(5)输送至上货区域。

2.如权利要求1所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：还包括静电消除模组，所述静电消除模组包含至少三组静电消除风道，所述三组静电消除风道分别安装于CST进料单元(1)、晶圆对中单元(3)上方，所述CST进料单元(1)、晶圆夹爪转台单元(2)、晶圆对中单元(3)、真空吸盘单元(4)、静电消除模组分别连接控制系统。

3.如权利要求1所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：所述CST进料单元(1)包括定位平台(101)、提升机构(102)、水平驱动轴(103)、直线电动驱动器(104)，所述定位平台(101)装在提升机构(102)的升降端，并在提升机构(102)的带动下提升或下降，所述定位平台(101)上安装有水平驱动轴(103)，置有晶圆(5)的晶圆载体(6)通过滑块(105)连接在水平驱动轴(103)上，所述水平驱动轴(103)与直线电动驱动器(104)的输出端相连接，所述晶圆载体(6)在直线电动驱动器(104)的带动下作水平移动。

4.如权利要求3所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：所述定位平台(101)上布置有扫片传感器(106)，所述扫片传感器(106)沿对角线对射布局，且安装在传感器安装架(107)上，所述传感器安装架(107)固定在定位平台(101)上，所述扫片传感器(106)用于获得晶圆(5)在CST进料单元(1)内的位置信息。

5.如权利要求1所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：所述晶圆框边夹持气爪(202)通过行程倍增轴(203)安装在转台(201)上，所述晶圆框边夹持气爪(202)布置在行程倍增轴(203)后部，并在同步带行程倍增轴(203)的带动下伸出或回缩。

6.如权利要求5所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：所述晶圆框边夹持气爪(202)由夹爪和真空托盘构成，并采用夹爪及真空托盘将晶圆(5)锁定，所述晶圆框边夹持气爪(202)处设置有真空传感器，并通过真空传感器确认晶圆(5)的锁定状态。

7.如权利要求1所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：所述晶圆对中单元(3)上设置有沿周向布置的高精度随动器(303)，所述高精度随动器(303)为凸轮随动器，并采用凸轮随动器进行接触定位。

8.如权利要求1所述的单晶圆搬运装置，其特征在于：所述真空吸盘单元(4)包括十字型中空支架以及真空吸盘(401)，所述十字型中空支架由水平运动轴(402)与垂直提升轴(403)构成，所述真空吸盘(401)通过连接臂(404)连接在垂直提升轴(403)上，并在垂直提升轴(403)的带动下作升降运动，所述垂直提升轴(403)可滑动式连接在水平运动轴(402)上，并沿水平运动轴(402)作水平移动，所述真空吸盘(401)与晶圆(5)吸附连接。