[实用新型]蚀刻喷淋装置有效
申请号: | 202022694565.8 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN213739695U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 郭提建 | 申请(专利权)人: | 东莞市鑫航机械设备有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 熊思远 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 喷淋 装置 | ||
1.一种蚀刻喷淋装置,其特征在于,包括:
管道组件,所述管道组件包括具有四个接口的四通管,一个所述接口的内侧壁上设置有两个凸起,所述凸起以所述接口的轴线为对称轴对称设置;
喷嘴组件,所述喷嘴组件包括外壳、按压键、卡接管和弹簧,所述外壳设置有贯通其两端的内管,所述卡接管穿设于所述外壳的一端,且所述卡接管部分套设于所述内管外,所述卡接管一端的侧壁上设置有两个相互对称的第一楔形块,所述卡接管的另一端的侧壁上设置有两个相互对称的第二楔形块,所述第一楔形块穿设于一个所述接口的内部,并与所述凸起相互抵接,所述第二楔形块穿设于所述外壳的内部,所述第一楔形块和所述第二楔形块的下降方向均为远离所述接口的方向,所述弹簧套设于所述卡接管上,且位于所述外壳的内侧壁与所述第二楔形块之间,所述按压键的一端抵接于所述第二楔形块的斜面上,所述按压键的另一端穿设于所述外壳的侧壁上,所述按压键滑动设置且其滑动方向垂直于所述卡接管。
2.根据权利要求1所述的蚀刻喷淋装置,其特征在于,所述按压键抵接于所述第二楔形块的一端设置有导向轮。
3.根据权利要求1所述的蚀刻喷淋装置,其特征在于,所述四通管的侧壁上设置有第一温度感应器。
4.根据权利要求1所述的蚀刻喷淋装置,其特征在于,所述喷嘴组件的侧边设置有第二温度感应器。
5.根据权利要求1所述的蚀刻喷淋装置,其特征在于,所述管道组件还包括节流阀,所述节流阀设置有三个,所述节流阀与所述四通管的另外三个所述接口相互连接。
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