[实用新型]一种新型多孔质陶瓷真空吸盘

说明书

本实用新型涉及精密陶瓷技术领域，具体涉及一种新型多孔质陶瓷真空吸盘，包括第一真空吸盘、第二真空吸盘和气缸，所述第一真空吸盘为圆环形，所述第一真空吸盘包括第一底座，所述第一底座底面固定连接有第一陶瓷片。本实用新型中，通过抽气管连接的分流器完成第二进气管的吸气，第二陶瓷片吸附底部的圆形薄片，通过气缸带动第二真空吸盘稳定向上垂直移动一段距离，减小移动过程中的偏移，再通过抽气管连接的分流器，完成第一进气管的吸气，第一陶瓷片吸附底部的环形薄片，利用机械臂连接固定机构稳定移动第一真空吸盘与第二真空吸盘，从而实现两个薄片间位置相对固定，减小后续工序中存在的误差。

技术领域

本实用新型涉及精密陶瓷技术领域，具体涉及一种新型多孔质陶瓷真空吸盘。

背景技术

多孔陶瓷真空吸盘的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内，通过微小的气孔把空气吸出，便加工物紧贴在陶瓷面上，能够减少吸附面对高精度材料的应力磨损，其稳定均匀的吸附力适合固定很薄的加工物，如晶圆片、玻璃和柔性屏等。

在一个工作面上，可能会出现一个同心圆中圆形薄片与环形薄片重叠贴靠，为了尽可能减小移动过程中的薄片表面磨损，需要使用两个多孔陶瓷真空吸盘分别吸附一个物件，再按照原来的摆放方式重新放置，操作比较繁琐，移动过程中可能因为两个吸盘的机械臂上测位系统存在误差，导致最终两个薄片之间存在圆心距，影响后续工序的精确度。

实用新型内容

为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种新型多孔质陶瓷真空吸盘，通过抽气管连接的分流器完成第二进气管的吸气，第二陶瓷片吸附底部的圆形薄片，通过气缸带动第二真空吸盘稳定向上垂直移动一段距离，减小移动过程中的偏移，再通过抽气管连接的分流器，完成第一进气管的吸气，第一陶瓷片吸附底部的环形薄片，利用机械臂连接固定机构稳定移动第一真空吸盘与第二真空吸盘，从而实现两个薄片间位置相对固定，减小后续工序中存在的误差。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种新型多孔质陶瓷真空吸盘，包括第一真空吸盘、第二真空吸盘和气缸，所述第一真空吸盘为圆环形，所述第一真空吸盘包括第一底座，所述第一底座底面固定连接有第一陶瓷片，所述第一底座的内顶壁开设有两个第一连接孔，所述第一连接孔固定嵌入第一真空发生器，两个所述第一真空发生器的进气孔之间固定套接有第一进气管，第一进气管使第一真空发生器工作，第一陶瓷片具有吸附能力；

所述第一真空吸盘的内侧壁设置有圆形的第二真空吸盘，所述第二真空吸盘包括第二底座，所述第二底座底面固定连接有第二陶瓷片，所述第二底座顶面中心位置开设有第二连接孔，所述第二连接孔固定嵌入有第二真空发生器，所述第二真空发生器的进气孔固定套接有第二进气管，所述第二进气管与第一进气管之间固定连接有分流器，第二进气管使第二真空发生器工作，第二陶瓷片具有吸附能力；

所述第一真空吸盘顶部设置有气缸，所述气缸的外柱面固定套接有圆环，所述圆环外侧壁均匀固定连接有三个支撑杆各自一端，三个所述支撑杆另一端通过螺柱固定于第一底座顶面对应位置，所述气缸的活塞杆一端固定连接有第二真空发生器顶面，所述气缸的外柱面顶端固定连接有连接块，所述连接块的底面旋合连接有密封盖，所述密封盖顶面旋合连接于第一底座顶面对应位置，所述密封盖顶部开设有第三连接孔，所述第三连接孔活动套接有抽气管，所述抽气管的底端固定连接于分流器上，抽气管连接的分流器向第一进气管和第二进气管分别吸气，第二陶瓷片吸附底部的圆形薄片，气缸带动第二真空吸盘垂直方向稳定向上移动一段距离，第一陶瓷片再吸附底部的环形薄片，过程中将两个吸盘的工作设置在同心圆内，减小薄片移动过程中产生的位置误差。

进一步在于：所述第一底座的内径大于第二底座的直径，气缸可以顺利带动第二真空吸盘垂直方向移动，第二陶瓷片吸附圆形材料向上移动。

进一步在于：所述第二真空发生器的顶面与第一底座的顶面间距大于气缸的缸体长度，避免第二底座与第一底座发生接触，出现振动和摩擦。