[实用新型]一种散气结构及真空设备

说明书

本实用新型提供一种散气结构及真空设备，包括至少一个散气件和输气组件，散气件固定在真空室的腔体内，与真空室的内壁之间围成横截面为多边形的储气腔，散气件上开设多个散气孔，输气组件连通储气腔，适于向储气腔内充入气体。横截面为多边形的储气腔结构，其侧边均为平直边，即散气件至少朝向储气腔的壁面为平直面，在平直面上加工散气孔更便捷，且容易对散气孔进行清理，避免散气结构由于清理不干净影响真空室的洁净度。

技术领域

本实用新型涉及真空装置技术领域，具体涉及一种散气结构及真空设备。

背景技术

真空室或真空管等一些真空腔在使用完成后，要进行破真空操作，即向真空室或真空管内充入气体，使其达到内外大气压力的平衡。

常规的破真空的结构是，在真空室底部固定安装圆管，圆管上加工若干散气孔，圆管一端封闭，一端与真空室外的气泵连接，通过气泵向圆管内输送气体，气体经圆管管壁上的散气孔充入真空室内。

上述结构存在如下问题：1、在圆管管壁上加工散气孔，加工难度大，且加工后的圆管内的碎屑不易清理干净，容易影响真空室的洁净度；2、圆管的一端封闭，在长期使用后，圆管内部及散气孔内的脏污难以清洗，同样会影响真空室的洁净度；3、圆管结构占用真空室内的纵向空间大，管径越大越容易对真空室内的其他部件造成干涉，空间利用率低。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有的散气结构容易影响真空室的洁净度，且占用空间大，空间利用率低。

为此，本实用新型提出一种散气结构，包括：

至少一个固定于真空室的腔体内的散气件，每一所述散气件上开设多个散气孔；所述散气件与真空室的内壁之间形成储气腔，所述储气腔在垂直于内壁方向上的截面形状为多边形；

输气组件，其一端连通所述储气腔，另一端适于连通所述真空室外部的气源。

所述储气腔上设置至少两个开口，其一开口连接所述输气组件，另一开口上设置端盖。

所述端盖上开设有与所述散气孔相同的散逸孔。

所述真空室的内壁上开设连通孔；所述输气组件包括：

进气块，固定在所述真空室内，其具有相互连通的进气孔和出气孔；所述进气孔与所述连通孔连通且边缘密封设置，所述进气孔适于连通气源；所述出气孔连通所述储气腔。

所述输气组件还包括：

连接管，其一端连通所述出气孔，另一端连通所述储气腔。

所述连接管的横截面积不大于所述储气腔的横截面积。

所述连接管的管径自所述出气孔一侧向所述储气腔侧逐渐扩大。

多个所述散气孔均匀间隔分布在所述散气件上。

任一所述散气件为板块，所述板块上开设所述散气孔；所述散气件采用包括铝的材料制成。

本实用新型提供一种真空设备，包括真空室及上述所述的散气结构；所述散气结构固定在所述真空室内。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的散气结构，包括至少一个散气件和输气组件，散气件固定在真空室的腔体内，与真空室的内壁之间围成横截面为多边形的储气腔，散气件上开设多个散气孔，输气组件连通储气腔，适于向储气腔内充入气体。横截面为多边形的储气腔结构，其侧边均为平直边，即散气件至少朝向储气腔的壁面为平直面，在平直面上加工散气孔更便捷，且容易对散气孔进行清理，避免散气结构由于清理不干净影响真空室的洁净度。