[实用新型]涂胶装置

说明书

本申请提供了一种涂胶装置，该涂胶装置包括甩干机，甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，掩膜版架位于甩干机本体的表面上，掩膜版架用于固定掩膜版。该涂胶装置，包括甩干机，甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，掩膜版架位于甩干机本体的表面上，掩膜版架用于固定掩膜版。相比现有技术中的涂胶装置仅为可控制转速和运行时间的直流电机，只具有甩干功能，本申请的涂胶装置在具备甩干功能的同时，通过将掩膜版放置在掩膜版架上，来固定掩膜版，可以使得掩膜版表面的光刻胶在甩干过程中变得较为均匀，保证光刻胶能较为均匀地覆盖掩膜版，避免了现有的涂胶装置无法使得掩膜版均匀涂布光刻胶的问题，保证了掩膜版的涂布光刻胶的效果较好。

技术领域

本申请涉及涂胶领域，具体而言，涉及一种涂胶装置。

背景技术

现有技术中的涂胶装置，实际为甩干机，仅为可控制转速和运行时间的直流电机，只具有甩干功能。如果想用该甩干机进行掩膜版的涂胶，则由于该甩干机上没有固定该掩膜版的结构，而导致该甩干机无法使得方形掩膜版均匀涂布光刻胶。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种涂胶装置，以解决现有技术中涂胶装置无法使得方形掩膜版均匀涂布光刻胶的问题。

为了实现上述目的或其他目的，根据本申请的一个方面，提供了一种涂胶装置，包括甩干机，所述甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，所述掩膜版架位于所述甩干机本体的表面上，所述掩膜版架用于固定掩膜版。

可选地，所述甩干机还包括掩膜版罩，可开合地设置在所述掩膜版架上。

可选地，所述掩膜版架包括支撑架和位于所述支撑架上的卡位件，所述卡位件用于将所述掩膜版固定在所述支撑架上。

可选地，所述卡位件包括凸起，且所述凸起有多个。

可选地，所述甩干机还包括甩干机盖板，所述甩干机盖板可开合地设置所述甩干机本体上。

可选地，所述甩干机盖板上具有开孔，所述涂胶装置还包括光刻胶供给设备，与所述开孔连接，所述光刻胶供给设备通过所述开孔将光刻胶设置在所述掩膜版上。

可选地，所述光刻胶供给设备包括储液设备和蠕动泵，其中，所述储液设备用于储存所述光刻胶；所述蠕动泵一端与所述储液设备连通，另一端与所述开孔连接。

可选地，所述光刻胶供给设备还包括控制开关，与所述蠕动泵连接，所述控制开关用于控制所述蠕动泵是否工作。

可选地，所述涂胶装置还包括排风罩和进风管，其中，所述排风罩罩设在所述甩干机的外周，所述排风罩上设置有开口；所述进风管与所述开口连通。

可选地，所述开口位于所述排风罩的顶面上。

本申请提供了一种涂胶装置，所述的涂胶装置，包括甩干机，所述甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，所述掩膜版架位于所述甩干机本体的表面上，所述掩膜版架用于固定掩膜版。相比现有技术中的涂胶装置仅为可控制转速和运行时间的直流电机，只具有甩干功能，本申请的涂胶装置在具备甩干功能的同时，通过将掩膜版放置在所述掩膜版架上，来固定所述掩膜版，可以使得所述掩膜版表面的光刻胶在甩干过程中变得较为均匀，保证光刻胶能较为均匀地覆盖所述掩膜版，避免了现有的涂胶装置无法使得掩膜版均匀涂布光刻胶的问题，保证了掩膜版的涂布光刻胶的效果较好。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本申请的一种具体的实施例得到的涂胶装置的示意图；

图2示出了根据本申请的另一种具体的实施例得到的涂胶装置的示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：