[实用新型]一种多晶硅还原炉智能激光清洗机有效

专利信息
申请号: 202022698114.1 申请日: 2020-11-19
公开(公告)号: CN213793257U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 庹政雄 申请(专利权)人: 深圳市超快激光科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 河南大象律师事务所 41129 代理人: 杨晓虹
地址: 518100 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 还原 智能 激光 清洗
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,包括固定板(1),其特征在于:固定板(1)上方的前侧设置有伺服电机(2),伺服电机(2)输出端固定连接有转动轴(3),转动轴(3)后端固定连接有第一转动板(4),转动轴(3)设置在第一转动板(4)正面的上方,第一转动板(4)背面固定连接有连接轴(5),连接轴(5)外表面的后端固定连接有第二转动板(6),第一转动板(4)的正面和背面与第二转动板(6)的正面和背面均开设有限位圆槽,限位圆槽的顶端内部可滑动连接有滑块(7),固定板(1)上方设置有支撑板(8),支撑板(8)下表面的前端和后端均固定连接有工型板(9),四组滑块(7)外侧面分别与两组工型板(9)内腔前侧壁和内腔后侧壁固定连接,支撑板(8)上表面固定连接有多轴机械手(10),多轴机械手(10)输出端固定连接有激光清洗结构(11),激光清洗结构(11)下表面固定连接有激光清洗头(12),激光清洗头(12)下表面的右端固定连接有两组限位板(13),限位板(13)外表面的底端设置有调节螺纹,限位板(13)外表面螺装有螺纹帽(14),螺纹帽(14)内腔底侧壁固定连接有保护海绵块(15),保护海绵块(15)上表面开设有放置槽,激光清洗头(12)底端设置在放置槽内部,激光清洗头(12)外表面与保护海绵块(15)内腔侧壁接触,固定板(1)上表面的四角均固定连接有伸缩杆(16),伸缩杆(16)顶端与支撑板(8)下表面固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,其特征在于:所述固定板(1)左侧面的中间部位固定连接有推杆(17),推杆(17)顶端固定连接有把手(18),把手(18)外表面的前端和后端均固定连接有把套。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,其特征在于:所述连接轴(5)后端固定连接有稳定板(19),稳定板(19)下表面与固定板(1)上表面的后端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,其特征在于:所述螺纹帽(14)外表面固定连接有多组防滑凸块(20),防滑凸块(20)外表面固定粘接有防滑橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,其特征在于:所述伺服电机(2)外表面的底端中间部位固定连接有固定架(21),固定架(21)底端与固定板(1)上表面的前端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉智能激光清洗机,其特征在于:所述固定板(1)下表面四角均固定连接有支板(22),支板(22)外侧面的底端转动连接有车轮(23),车轮(23)上设置有刹车片。

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