[实用新型]一种玻璃晶圆腐蚀治具有效

专利信息
申请号: 202022703154.0 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN214081034U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 万峰 申请(专利权)人: 江苏美伦光电有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00;C03C15/00
代理公司: 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 代理人: 董存壁
地址: 223000 江苏省淮*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 腐蚀
【权利要求书】:

1.一种玻璃晶圆腐蚀治具,包括左固定板(1)和右固定板(2),其特征在于:所述左固定板(1)和右固定板(2)上焊接固定有固定座(11),所述固定座(11)内通过轴承转动连接有丝杆(16),所述丝杆(16)侧面通过滚珠螺母副连接有螺母座(17),所述螺母座(17)侧面套装固定有连接块(15),所述连接块(15)与固定座(11)滑动连接,所述左固定板(1)和右固定板(2)内部滑动连接有卡板一(8)和卡板二(9),所述连接块(15)穿过固定座(11)以及两组固定板分别于卡板一(8)和卡板二(9)固定连接,所述卡板一(8)和卡板二(9)上均开设有卡槽(10),所述卡板一(8)和卡板二(9)上卡槽(10)相连通,所述左固定板(1)和右固定板(2)之间活动连接有调节板(3),所述调节板(3)左端和右端均对称焊接固定有连接条(14),所述连接条(14)分别于左固定板(1)和右固定板(2)内部滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆腐蚀治具,其特征在于:所述左固定板(1)和右固定板(2)主视横截面均呈U型,所述左固定板(1)和右固定板(2)结构相同。

3.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆腐蚀治具,其特征在于:所述左固定板(1)上端中部焊接固定有滑动套(7),所述右固定板(2)上端中部焊接固定有连接座(6),所述连接座(6)左侧固定有刻度板(4),所述刻度板(4)左部滑动连接在滑动套(7)内。

4.根据权利要求3所述的一种玻璃晶圆腐蚀治具,其特征在于:所述滑动套(7)上部边缘处通过螺纹连接有螺栓(5),所述螺栓(5)穿过滑动套(7)与刻度板(4)相接触,所述刻度板(4)上加工有刻度。

5.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆腐蚀治具,其特征在于:所述卡槽(10)设有两组以上,两组以上卡槽(10)等距设置在卡板一(8)和卡板二(9)上,所述卡槽(10)内壁粘接固定有橡胶垫,所述卡槽(10)规格与玻璃晶圆规格相同。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆腐蚀治具,其特征在于:所述左固定板(1)和右固定板(2)上部和下部均对称开设有条形槽(13),所述连接条(14)滑动连接在条形槽(13)内。

7.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆腐蚀治具,其特征在于:所述左固定板(1)和右固定板(2)中部均开设有通槽(12),所述连接块(15)穿过通槽(12)与卡板一(8)和板二连接,所述固定座(11)后侧设置有旋钮,所述旋钮与丝杆(16)固定连接。

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