[实用新型]波导微带过渡结构、太赫兹模组及通信装置

说明书

本实用新型涉及微电子技术领域，提供了一种波导微带过渡结构、太赫兹模组及通信装置，波导微带过渡结构包括：耦合探针、第一微带线、第二微带线及T型结；耦合探针，第一端用于通过波导上设置的开口延伸至波导内部，第二端与第一微带线的第一端连接；T型结，第一端通过第二微带线与第一微带线的第二端连接，第二端用于通过键合金丝与太赫兹芯片连接；第一微带线的阻抗大于第二微带线的阻抗。本实用新型利用T型结自身的等效电感及电容与键合金丝的寄生电感相抵消，降低了键合金丝带来的阻抗失配问题，过渡性能良好，提高了太赫兹信号的传输质量。

技术领域

本实用新型属于微电子技术领域，尤其涉及一种波导微带过渡结构、太赫兹模组及通信装置。

背景技术

随着现代无线通信技术的发展，太赫兹波凭借其频率高、带宽宽及安全性好等特点在无线通信领域得到广泛的应用。太赫兹单片集成电路芯片的接口一般是微带传输线，为了方便用户使用及测试，通常将太赫兹单片集成电路芯片进行封装后使用，封装后的接口一般为矩形波导。因此，需要一种矩形波导微带过渡结构来实现信号从太赫兹单片集成电路芯片端口到矩形波导的传输过渡。

现有技术中，波导-探针-微带线过渡结构是目前常用的封装过渡结构，具有插损低、驻波及加工方便等特点。但由于微带传输线与芯片压点之间采用键合金丝连接，在太赫兹频段键合金丝的寄生电感会对匹配造成不良影响，驻波恶化，影响太赫兹信号的传输质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种波导微带过渡结构、太赫兹模组及通信装置，以解决现有技术中键合金丝的寄生电感对匹配造成不良影响，导致驻波恶化，影响太赫兹信号传输质量的问题。

本实用新型实施例第一方面提供了一种波导微带过渡结构，包括：耦合探针、第一微带线、第二微带线及T型结；

耦合探针，第一端用于通过波导上设置的开口延伸至波导内部，第二端与第一微带线的第一端连接；

T型结，第一端通过第二微带线与第一微带线的第二端连接，第二端用于通过键合金丝与太赫兹芯片连接；

第一微带线的阻抗大于第二微带线的阻抗。

可选的，T型结中各段线的长度和宽度均可调。

可选的，第二微带线为50欧姆微带线。

可选的，波导微带过渡结构还包括：衬底；

耦合探针、第一微带线、第二微带线及T型结均设置在衬底上。

可选的，衬底的形成材料为石英。

可选的，波导微带过渡结构的工作频率为200GHz～250GHz。

本实用新型实施例第二方面提供了一种太赫兹模组，包括：波导、太赫兹芯片及本实用新型实施例第一方面提供的波导微带过渡结构；

波导微带过渡结构中设置有耦合探针的一端通过波导上设置的开口延伸至波导内部，波导微带过渡结构中设置有T型结的一端通过键合金丝与太赫兹芯片连接。

可选的，波导上设置的开口与波导的短路面的间距为信号的四分之一波长。

可选的，波导为矩形波导。

本实用新型实施例第三方面提供了一种通信装置，包括本实用新型实施例第二方面提供的太赫兹模组。