[实用新型]一种单片晶圆显影花篮

说明书

本实用新型公开了一种单片晶圆显影花篮，属于半导体材料技术领域，其特征在于，至少包括：圆环结构的托盘；所述托盘由圆环结构的上托盘和下托盘叠加而成，上托盘和下托盘为一体成型结构，所述托盘的外侧壁开设有卡槽；所述托盘上开设有上下片豁口；把手；所述把手与托盘的外侧壁连接。本申请中的单片晶圆显影花篮结构简单合理，适用于单片晶圆的显影操作，通过将显影面朝下倒置显影保证了晶圆表面光刻图形不被沾污；通过卡槽使晶圆在显影晃动时能够稳固晶圆片不易滑落；花篮托盘在显影时可完全浸没与显影液中，使显影液与曝光后的光刻胶充分溶解。显影花篮把手便于对晶圆的移动，可以及时的将晶圆由显影液转移到定影液中，提升了显影精度。

技术领域

本实用新型属于半导体材料技术领域，具体涉及一种单片晶圆显影花篮。

背景技术

在现代社会中，电子信息已成为人们生活不可或缺的重要组成部分之一，它服务于人们的衣食住行等，而晶圆更是在半导体行业中有着重要的地位。晶圆主要指硅半导体集成电路制作所用的硅晶圆片，当然依据材料也可分为InP晶圆、蓝宝石晶圆、GaN晶圆等，由于其形状大多为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作各种电路元件结构或者光电器件结构。

晶圆的清洗及显影时盛放转移的器具一般在花篮中进行。而传统的单片显影花篮在显影时，晶圆被显影面显影时朝上设置浸泡在溶液中，显影过程中随被曝光区域光刻胶的溶解，很多时候会有部分脏污回落到晶圆表面且难以再次去除，影响晶圆上图形加工，导致良率降低；晶圆在显影后定影时也不能快速将残留的显影液溶于定影液中，导致显影后线宽不易控制。

实用新型内容

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种单片晶圆显影花篮，显影后曝光图形清洁不易造成脏污回落现象；晶圆在取放时同时易于操作。

本实用新型的目的是提供一种单片晶圆显影花篮，包括：

圆环结构的托盘(2)；所述托盘(2)由圆环结构的上托盘和下托盘叠加而成，上托盘和下托盘为一体成型结构，所述托盘(2)的外侧壁开设有卡槽(4)；所述托盘(2)上开设有上下片豁口(3)；

把手(1)；所述把手(1)与托盘(2)的外侧壁连接。

优选地，所述圆环的直径大于2寸片直径。

优选地，所述把手(1)为直杆，且把手(1)与托盘(2)的圆环面相互垂直。

优选地，所述上下片豁口(3)的宽度范围是0.9cm至1.1cm。

优选地，所述上下片豁口(3)的宽度是0.9cm或1cm或1.1cm。

优选地，所述把手(1)高为20cm，所述把手(1)的直径为1cm。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

本申请通过采用上述技术方案，本申请中的单片晶圆显影花篮结构简单合理，适用于单片晶圆的显影操作，通过将显影面朝下倒置显影保证了晶圆表面光刻图形不被沾污；通过卡槽使晶圆在显影晃动时能够稳固晶圆片不易滑落；花篮托盘在显影时可完全浸没与显影液中，使显影液与曝光后的光刻胶充分溶解。显影花篮把手便于对晶圆的移动，可以及时的将晶圆由显影液转移到定影液中，提升了显影精度。

附图说明

图1是本实用新型优选实例的轴视图；

图2是本实用新型优选实例的爆炸图；

图3是本实用新型优选实例的主视图；

图4是本实用新型优选实例的右视图；

图5为本实用新型优选实例的尺寸图；

图6为传统花篮的结构图；

图7是本实用新型优选实例的结构视图。