[实用新型]工艺废气输送装置有效
申请号: | 202022715580.6 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN214094013U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 黄志平;黄德昇;杨志坚;亓文丽 | 申请(专利权)人: | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
主分类号: | F17D1/02 | 分类号: | F17D1/02;F17D1/20;F15D1/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 250101 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工艺 废气 输送 装置 | ||
1.一种工艺废气输送装置,包括废气输送管(01),其特征在于,所述废气输送管(01)上至少设置有一圈间隔分布的氮气接入管(02),且同一圈所述氮气接入管(02)排出的热氮气形成沿顺时针或逆时针方向运动的旋转气流;任意一所述氮气接入管(02)的气体排出方向与所述废气输送管(01)外壁的母线之间均具有大于0°且小于90°的夹角。
2.根据权利要求1所述的工艺废气输送装置,其特征在于,每一圈所述氮气接入管(02)至少包括两个。
3.根据权利要求1或2所述的工艺废气输送装置,其特征在于,任意相邻两个所述氮气接入管(02)之间所夹的圆心角均相等。
4.根据权利要求1所述的工艺废气输送装置,其特征在于,每一根所述氮气接入管(02)与所述废气输送管(01)外壁的母线之间的夹角均相等。
5.根据权利要求4所述的工艺废气输送装置,其特征在于,每一根所述氮气接入管(02)与所述废气输送管(01)外壁的母线之间的夹角均为α,其中,45°≤α≤60°。
6.根据权利要求1所述的工艺废气输送装置,其特征在于,所述废气输送管(01)上设置有多圈所述氮气接入管(02),任意相邻两圈所述氮气接入管(02)在所述废气输送管(01)的轴线方向上具有间隔的分布。
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