[实用新型]一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头

说明书

本实用新型公开了一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头，包括防护外壳、轭铁片和不锈钢管和第一磁铁，所述不锈钢管的外侧表面套接有若干个轭铁片，所述轭铁片的两侧设有轭铁侧翼，所述轭铁片的顶端安装有定位块，所述轭铁片的上方通过轭铁侧翼限位安装有第二磁铁，所述不锈钢管上位于轭铁片的两端安装有端头组件，所述不锈钢管两端的端头组件的外侧分别安装有第一安装组件和第二安装组件，所述第一安装组件和第二安装组件均通过螺栓与端头组件连接固定。本实用新型具备即可满足批量生产轭铁的多样性，且可大大提高轭铁的制作效率将低成本的优点。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体为一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头。

背景技术

目前国内各厂商在磁控溅射镀膜中使用的圆柱旋转磁控溅射阴极磁场，通常都是以导磁材料作为轭铁。在铁质无缝管上铣削加工安装、固定磁铁的槽位，利用无缝管中心孔作为冷却水进入的通道。这种传统的制作方法存在以下几点弊端：

1、工业应用型磁轭的长度通常超过1000mm长度，甚至更长。这种形式整体加工，铣削效率低，即使分段加工的效率也不容客观。

2、具有导磁性能的无缝管型材的规格材质有限，如420不锈钢(导磁) 在原材料市场上就比较难获得无缝管形式的原材料。使用A3铁等材质又因耐腐蚀性能的问题影响到使用寿命。

3、利用无缝管加工磁铁很难满足一些较为复杂的磁场结构设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头，具备即可满足批量生产轭铁的多样性，且可大大提高轭铁的制作效率将低成本的优点，解决了传统的制作方法存在以下几点弊端：

1、工业应用型磁轭的长度通常超过1000mm长度，甚至更长。这种形式整体加工，铣削效率低，即使分段加工的效率也不容客观。

2、具有导磁性能的无缝管型材的规格材质有限，如420不锈钢(导磁) 在原材料市场上就比较难获得无缝管形式的原材料。使用A3铁等材质又因耐腐蚀性能的问题影响到使用寿命。

3、利用无缝管加工磁铁很难满足一些较为复杂的磁场结构设计的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头，包括防护外壳、轭铁片和不锈钢管和第一磁铁，所述不锈钢管的外侧表面套接有若干个轭铁片，所述轭铁片的两侧设有轭铁侧翼，所述轭铁片的顶端安装有定位块，所述轭铁片的上方通过轭铁侧翼限位安装有第二磁铁，所述不锈钢管上位于轭铁片的两端安装有端头组件，所述不锈钢管两端的端头组件的外侧分别安装有第一安装组件和第二安装组件，所述第一安装组件和第二安装组件均通过螺栓与端头组件连接固定。

优选的，所述轭铁片的上表面两端安装有定位块，所述第一磁铁上设有插接块，所述第一磁铁通过插接块限位插接安装在定位块内。

优选的，若干个轭铁片之间通过无缝焊接进行固定。

优选的，所述轭铁片上共设有两个第二磁铁，且所述第二磁铁在定位块的两侧对称分布。

优选的，所述定位块和第二磁铁的外侧套接有防护外壳。

优选的，所述第二安装组件上共设有两个螺栓，且两个螺栓在不锈钢管的上方对称分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过使用模具冲压技术获得轭铁截面形状的零件，厚度在冲压工艺允许的前提下，制成1-2mm的厚度，使用不锈钢管将轭铁片叠加在一起获得所需长度，再将叠加好的轭铁片装夹到特定的工装夹具上，配合焊接技术将轭铁片组紧密连接，以上方法即可满足批量生产轭铁片的多样性，形状、材质的选择都具有绝对的优势，加上冲压技术的优势，可大大提高轭铁片的制作效率将低成本。

附图说明

图1为本实用新型的后视外观示意图；