[实用新型]集成电路印刷装置用清洁设备以及集成电路印刷装置

说明书

一种集成电路印刷装置用清洁设备。所述集成电路印刷装置用清洁设备包括：制动装置、清洁液供应装置以及抽气装置。所述制动装置包括可替换擦拭组件，其中当所述制动装置制动时，将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元。所述清洁液供应装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供清洁液给所述可替换擦拭组件以擦拭所述集成电路印刷钢网。所述抽气装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供吸力以吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。

技术领域

本申请时有关于一种机械装置，详细来说是有关于一种集成电路印刷装置用清洁设备、集成电路印刷装置用清洁方法以及集成电路印刷装置。

背景技术

在印刷半导体基板时，会在钢网上留下残胶，若是没有对钢网进行妥善的清洁，钢网上的残胶将会影响下一条半导体基板的品质。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提出一种集成电路印刷装置用清洁设备、集成电路印刷装置用清洁方法以及集成电路印刷装置来解决背景技术中的问题。

依据本申请的一实施例，揭露一种用于清洁集成电路印刷钢网的集成电路印刷装置用清洁设备。所述集成电路印刷装置用清洁设备包括：制动装置、清洁液供应装置以及抽气装置。所述制动装置包括可替换擦拭组件，其中当所述制动装置制动时，将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元。所述清洁液供应装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供清洁液给所述可替换擦拭组件以擦拭所述集成电路印刷钢网。所述抽气装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供吸力以吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。

依据本申请的一实施例，所述制动装置包含卷筒，用于收纳所述可替换擦拭组件的两端。

依据本申请的一实施例，所述制动装置包含承载盘，用于承载堆叠的所述可替换擦拭组件。

依据本申请的一实施例，所述清洁液供应装置包括泵，所述泵用于抽取所述清洁液。

依据本申请的一实施例，所述清洁液供应装置还包括清洁头。所述清洁头包括多个清洁孔。所述多个清洁孔排列延伸的长度对应所述集成电路印刷钢网的开孔宽度。所述清洁液通过所述多个清洁孔提供给所述可替换擦拭组件。

依据本申请的一实施例，所述抽气装置的所述吸力大小在于-99千帕至-50 千帕。

依据本申请的一实施例，所述抽气装置与所述制动装置平行设置。

依据本申请的一实施例，所述抽气装置环绕所述制动装置设置。

依据本申请的一实施例，所述集成电路印刷装置用清洁设备还包括位移装置。所述位移装置设置于所述集成电路印刷装置用清洁设备的下部，用于支撑所述制动装置、所述清洁液供应装置以及所述抽气装置朝所述集成电路印刷钢网的方向运动。

依据本申请的一实施例，揭露一种集成电路印刷装置用清洁方法。所述方法包括：控制泵以抽取清洁液；通过清洁头将所述清洁液提供给可替换擦拭组件；通过所述可替换擦拭组件擦拭所述集成电路印刷钢网；以及开启抽气装置吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。

依据本申请的一实施例，所述泵、所述清洁头以及所述抽气装置整合于集成电路印刷装置用清洁设备中。所述方法还包括：控制所述集成电路印刷装置用清洁设备朝向所述集成电路印刷钢网移动，并使得所述可替换擦拭组件接触所述集成电路印刷钢网。

依据本申请的一实施例，所述方法还包括：在所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液由所述抽气装置吸取后，控制所述集成电路印刷装置用清洁设备远离所述集成电路印刷钢网。

依据本申请的一实施例，所述可替换擦拭组件装设于制动装置中，所述方法还包括：控制所述制动装置以将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元。