[实用新型]石英加料器清扫装置

说明书

本实用新型的石英加料器清扫装置包括清扫杆、若干连接杆、石英清扫面板，所述清扫杆的下端与连接杆的第一端固定连接，连接杆沿着清扫杆径向呈放射状分布在清扫杆上，连接杆的第二端与石英清扫面板固定连接，石英清扫面板的数量与连接杆的数量相同，使用时，石英清扫面板与加料器的内壁接触，且石英清扫面板与加料器内壁接触的一面为弧面，以减小石英清扫面板与加料器的摩擦。在使用时，通过转动石英加料器清扫装置，同时，使石英加料器清扫装置沿着加料器轴向运动，可对加料器的整个内壁进行彻底清扫，高效且不会引入新的杂质。

技术领域

本实用新型属于坩埚制备技术领域，尤其涉及一种石英加料器清扫装置。

背景技术

单晶增加投料量可以降低成本，增加产量，除了过大热场和单晶炉尺寸外，二次加料是半导体行业内普遍使用的方法，因为半导体对原料的纯度要求高，加料器材质选用高纯石英，加料完成后需要防尘，加料前需要清扫，但因加料器筒体长，缺少清扫工具，简易的工具作业不方便，而且清扫不彻底，导致掺杂过程中杂质引入，影响单晶品质。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种专用于清扫加料器的、清扫彻底的石英加料器清扫装置。

一种石英加料器清扫装置包括清扫杆、若干连接杆、石英清扫面板，所述清扫杆的下端与连接杆的第一端固定连接，连接杆沿着清扫杆径向呈放射状分布在清扫杆上，连接杆的第二端与石英清扫面板固定连接，石英清扫面板的数量与连接杆的数量相同，使用时，石英清扫面板与加料器的内壁接触，且石英清扫面板与加料器内壁接触的一面为弧面，以减小石英清扫面板与加料器的摩擦。

优选的，所述连接杆为可伸缩杆，以使石英清扫面板能够对不同内径的加料器进行清扫。

优选的，所述连接杆包括第一杆体、第二杆体、旋紧螺钉，所述第一杆体与第二杆体套设连接，第一杆体和第二杆体的侧壁设有若干螺纹孔，旋紧螺钉与螺纹孔螺纹连接。

优选的，所述连接杆包括第一杆体、第二杆体、弹簧，所述第一杆体与第二杆体套设连接，第一杆体和第二杆体之间设有弹簧，弹簧的一端与第一杆体固定，弹簧的另一端与第二杆体固定。

优选的，所述清扫杆为可伸缩杆，以使石英清扫面板能够对不同长度的加料器进行清扫。

优选的，所述清扫杆包括至少两个杆体，两个清扫杆的杆体螺纹连接。

优选的，所述石英加料器清扫装置还包括驱动电机，以带动清扫杆转动，所述驱动电机的驱动轴与清扫杆可拆卸连接，以便于更换清扫杆。

有益效果：本实用新型的石英加料器清扫装置包括清扫杆、若干连接杆、石英清扫面板，所述清扫杆的下端与连接杆的第一端固定连接，连接杆沿着清扫杆径向呈放射状分布在清扫杆上，连接杆的第二端与石英清扫面板固定连接，石英清扫面板的数量与连接杆的数量相同，使用时，石英清扫面板与加料器的内壁接触，且石英清扫面板与加料器内壁接触的一面为弧面，以减小石英清扫面板与加料器的摩擦。在使用时，通过转动石英加料器清扫装置，同时，使石英加料器清扫装置沿着加料器轴向运动，可对加料器的整个内壁进行彻底清扫，高效且不会引入新的杂质。

附图说明

图1为本实用新型的石英加料器清扫装置的结构示意图。

图2为图1的局部结构示意图。

图3为本实用新型的石英加料器清扫装置工作状态的结构示意图。

图中：石英加料器清扫装置10、清扫杆20、连接杆30、第一杆体301、第二杆体302、石英清扫面板40、加料器50。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。