[实用新型]一种真空镀膜工件盘翻转装置

权利要求书

1.一种真空镀膜工件盘翻转装置，其特征在于：包括工转检测部件及设置在工转检测部件底部的环形工件架，环型工件架由内环型工架和外环型工架组成，所述内环型工架的外侧设有外环型工架，所述内环型工架旋装固定于工转检测部件的底部，所述内环型工架的外周沿顶部均布开设有轴槽，所述轴槽内均卡装有用于固定工件盘顶端的转动固定压座Ⅰ，所述外环型工架周沿顶部均布有与所述内环型工架外周沿顶部轴槽相对称的翻转部件固定台，所述翻转部件固定台中部设有与所述内环型工架外周沿顶部轴槽内均卡装的转动固定压座Ⅰ相配合的转动固定压座Ⅱ，所述转动固定压座Ⅱ的轴杆尾端均设有用于翻转的拨片，所述转动固定压座Ⅰ与转动固定压座Ⅱ之间均夹装有工件盘，所述环型工件架的外环型工架一侧设有与所述转动固定压座Ⅱ轴杆尾端拨片相配合的转动拨叉，所述转动拨叉由气缸、电机和拨叉组成，所述气缸的内杆顶端设有电机，所述电机的输出转轴上设有拨叉。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜工件盘翻转装置，其特征在于：所述环型工件架的内环型工架和外环型工架之间均布有用于固定支撑用的支撑拉板。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜工件盘翻转装置，其特征在于：所述翻转部件固定台内侧壁一端设有定位凸台，所述工件盘底端一侧开设有与所述翻转部件固定台内侧壁一端的定位凸台相配合的豁口。