[实用新型]一种台式扫描电镜加热台有效
申请号: | 202022736866.2 | 申请日: | 2020-11-23 |
公开(公告)号: | CN213184197U | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 宋珍;于志达 | 申请(专利权)人: | 华晨之星(天津)科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2251 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 姜宇 |
地址: | 300000 天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区工华道壹号D座2门1101*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 台式 扫描电镜 加热 | ||
1.一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,包括
电镜主体(100);
调节机构(200),所述调节机构(200)包括底座(210)、横向电动滑台(220)、十字电动滑台(230)、固定框(240)和液压缸(250),所述液压缸(250)下端固定连接于所述电镜主体(100)下方上侧,所述底座(210)下侧固定连接于所述液压缸(250)活塞杆顶端,所述横向电动滑台(220)固定连接于所述底座(210)一侧,所述十字电动滑台(230)下端固定连接于所述横向电动滑台(220)滑动端上侧,所述固定框(240)包括框体(241)、套筒(242)、丝杠(243)和推板(244),所述框体(241)一侧固定连接于所述十字电动滑台(230)靠近所述底座(210)一端,所述套筒(242)转动贯穿于所述框体(241)远离所述十字电动滑台(230)一侧,所述丝杠(243)一端螺纹贯穿于所述套筒(242)远离所述框体(241)一端,所述丝杠(243)另一端固定连接于所述推板(244)一侧,所述推板(244)两端滑动连接于所述框体(241)内部两侧;
加热台(300),所述加热台(300)包括加热台主体(310)和加热板(320),所述加热台主体(310)滑动连接于所述底座(210)上侧,所述加热板(320)固定连接于所述加热台主体(310)上方,所述固定框(240)设置在所述加热板(320)上方。
2.根据权利要求1所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述底座(210)上侧设置有若干条滑槽(211),若干条所述滑槽(211)并列设置。
3.根据权利要求2所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述底座(210)一侧安装有若干个连接块(212),若干个所述连接块(212)远离所述底座(210)一侧安装有支板(213),所述横向电动滑台(220)固定连接于所述支板(213)上方。
4.根据权利要求3所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述底座(210)远离所述电镜主体(100)一侧安装有若干个锁扣(214),所述锁扣(214)和所述滑槽(211)外端对应设置。
5.根据权利要求4所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述锁扣(214)包括壳体(2141)、挡块(2142)、弹簧(2143)和导杆(2144),所述壳体(2141)固定连接于所述底座(210)外侧,所述挡块(2142)滑动贯穿于所述壳体(2141)上侧,所述导杆(2144)下端固定连接于所述壳体(2141)内部下侧,所述导杆(2144)贯穿于所述弹簧(2143),所述弹簧(2143)两端分别固定连接于所述挡块(2142)和所述壳体(2141),所述挡块(2142)内部开设有空腔(2145),所述导杆(2144)上端滑动贯穿于所述空腔(2145)。
6.根据权利要求5所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述挡块(2142)外侧设置有拨板(2146),所述拨板(2146)上侧和下侧设置有软垫(2147)。
7.根据权利要求6所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述框体(241)靠近所述十字电动滑台(230)一侧下方设置有若干个吸盘(245),所述推板(244)下方也设置有若干个所述吸盘(245),若干个所述吸盘(245)均匀分布。
8.根据权利要求7所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述框体(241)远离所述十字电动滑台(230)一侧外部设置有拨片(246),所述拨片(246)固定连接于所述套筒(242)外端。
9.根据权利要求8所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述框体(241)靠近所述十字电动滑台(230)一侧内部安装有缓冲垫(247),所述推板(244)靠近所述十字电动滑台(230)一侧也安装有缓冲垫(247)。
10.根据权利要求9所述的一种台式扫描电镜加热台,其特征在于,所述加热板(320)上方一侧安装有两个压片(330),所述加热板(320)外围设置有防护框(340),所述防护框(340)固定连接于所述加热台主体(310)上方,所述加热板(320)和所述加热台主体(310)设置有隔热板(350),所述加热台主体(310)下侧设置有若干条滑轨(360),所述滑轨(360)滑动连接于所述滑槽(211)。
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