[实用新型]一种在真空环境内传动电池片的传送机构有效
申请号: | 202022736884.0 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN213242518U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王锴 |
地址: | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 环境 传动 电池 传送 机构 | ||
1.一种在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,包括:
真空室(1),设有一开口;
升降装置,包括一端自所述真空室(1)的开口伸进所述真空室(1)内的升降座(2)、以及驱动所述升降座(2)沿所述开口的方向做竖向往复运动的动力源(3);所述升降座(2)上开设有通孔;
波纹管(4),连接在所述真空室(1)内壁和所述升降座(2)之间,用于密封所述升降座(2)和所述真空室(1)的开口之间的缝隙;
磁流体密封装置,包括连接在所述升降座(2)位于大气环境一侧的磁流体容器(51),穿过所述磁流体容器(51)且一端自所述升降座(2)上的通孔伸进所述真空室(1)内的磁流体轴(52),以及装在所述磁流体容器(51)内的磁流体;所述磁流体轴(52)伸进所述真空室(1)内的一端连接有由所述磁流体轴(52)驱动运动的托取臂(6),所述磁流体轴(52)的另一端连接有用于驱动所述磁流体轴(52)转动的驱动源(7),所述驱动源(7)安装在所述升降座(2)上。
2.根据权利要求1所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述升降座(2)包括与所述动力源(3)的输出端连接的升降板(21),以及连接在所述升降板(21)上的且一端自所述真空室(1)的开口伸进所述真空室(1)内的筒体(22);所述筒体(22)背向所述升降板(21)的顶壁上开设有所述通孔,所述磁流体容器(51)位于所述筒体(22)内部且连接在所述筒体(22)的顶壁上。
3.根据权利要求2所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述磁流体容器(51)通过第一锁紧件固定在所述筒体(22)的顶壁上,所述磁流体容器(51)和所述筒体(22)顶壁的结合面上还设有第一密封圈(9)。
4.根据权利要求2所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述真空室(1)内固定有位于开口外侧的安装块(10),所述筒体(22)的顶壁设有水平向外延伸的延伸端(221),所述波纹管(4)可伸缩地连接在所述安装块(10)和所述延伸端(221)之间。
5.根据权利要求4所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述安装块(10)通过第二锁紧件(11)固定在所述真空室(1)的内壁上,所述安装块(10)和所述真空室(1)的结合面上还设有第二密封圈(12)。
6.根据权利要求2所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述驱动源(7)为安装在所述升降板(21)上的伺服电机。
7.根据权利要求6所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述伺服电机的输出轴和所述磁流体轴(52)通过联轴器(13)连接。
8.根据权利要求2所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述动力源(3)为安装在一固定板上的一对气缸,一对所述气缸的伸缩端均连接于所述升降板(21)。
9.根据权利要求8所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述固定板和所述真空室(1)之间还连接有若干导向柱(14),所述升降座(2)上设有供所述导向柱(14)穿过的导向孔。
10.根据权利要求9所述的在真空环境内传动电池片的传送机构,其特征在于,所述导向孔内安装有直线轴承(15),所述导向柱(14)与所述直线轴承(15)的内孔紧密配合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造