[实用新型]边发射半导体激光器

权利要求书

1.一种边发射半导体激光器，其特征在于，包括：光波导、高阶非球面快轴准直镜和高阶非球面慢轴准直镜；光波导具有N型衬底层，高阶非球面快轴准直镜和高阶非球面慢轴准直镜均形成在N型衬底层上。

2.如权利要求1所述的边发射半导体激光器，其特征在于，光波导还具有沿垂直于N型衬底层的Z方向依次设置在N型衬底层上的N型包层、N型波导层、有源层、P型波导层、P型包层和P型掺杂盖层。

3.如权利要求2所述的边发射半导体激光器，其特征在于，定义N型衬底层所在的平面为X-Y面，X方向与Y方向垂直；

P型掺杂盖层在Y方向上的长度小于其他各层，且为沿X方向延伸的条状结构；或者

P型掺杂盖层和P型包层的一部分在Y方向上的长度小于P型包层的另一部分和其他各层，且为沿X方向延伸的条状结构；或者

P型掺杂盖层和P型包层在Y方向上的长度小于其他各层，且为沿X方向延伸的条状结构；或者

P型掺杂盖层、P型包层和P型波导层的一部分在Y方向上的长度小于P型波导层的另一部分和其他各层，且为沿X方向延伸的条状结构。

4.如权利要求3所述的边发射半导体激光器，其特征在于，光波导沿X方向具有第一侧面和第二侧面，第一侧面形成有高反膜；第二侧面形成有增透膜，构成光波导的出光面。

5.如权利要求4所述的边发射半导体激光器，其特征在于，高阶非球面快轴准直镜在X方向上具有第一侧面和第二侧面，第一侧面为沿Y方向延伸的曲面，第二侧面为沿Y方向延伸的平面，该曲面与X-Z面相交为曲线，与X-Y平面相交为直线；在高阶非球面快轴准直镜的第一侧面和第二侧面形成有增透膜。

6.如权利要求5所述的边发射半导体激光器，其特征在于，高阶非球面慢轴准直镜在X方向上具有第一侧面和第二侧面，第一侧面靠近高阶非球面快轴准直镜，为沿Y方向延伸的平面，第二侧面远离高阶非球面快轴准直镜，为沿Z方向延伸的曲面，该曲面与X-Y面相交为曲线，与X-Z面相交为直线；在高阶非球面慢轴准直镜的第一侧面和第二侧面形成有增透膜。