[实用新型]一种自动对焦电学显微镜有效
| 申请号： | 202022750871.9 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214041858U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 朱大峥 | 申请（专利权）人： | 深圳市博视达光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/24 | 分类号： | G02B21/24;G02B21/36 |
| 代理公司： | 深圳金伟创新专利代理事务所(普通合伙) 44628 | 代理人： | 韦永吉 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 对焦 电学 显微镜 | ||
1.一种自动对焦电学显微镜，其特征在于，包括底座(100)、竖直固定在底座(100)上的支架(101)、固定于底座(100)上的平面运动平台(200)、镜臂(300)、镜筒(400)、目镜(500)、分光镜、红外测距仪(800)和工业相机(900)；
所述支架(101)竖直方向设有滑槽；
所述镜臂(300)与滑槽啮合滑动固定在支架(101)上，所述镜臂(300)上设有Z轴电机(301)用于驱动镜臂(300)沿支架(101)上下滑动；
所述镜筒(400)竖直固定于镜臂(300)，位于平面运动平台(200)上方；
所述镜筒(400)的顶端固定有红外测距仪(800)，底端固定有物镜(600)，所述红外测距仪(800)与物镜(600)同轴心；
所述目镜(500)和工业相机(900)固定于镜臂(300)，所述镜筒(400)、目镜(500)和工业相机(900)之间设有光道连接；
所述分光镜包括第一分光镜(701)和第二分光镜(702)，所述第一分光镜(701)位于光道和镜筒(400)的连接处，所述第二分光镜(702)位于目镜(500)和工业相机(900)的延长线交接处。
2.根据权利要求1所述自动对焦电学显微镜，其特征在于，所述支架(101)设有齿条，所述Z轴电机(301)的转轴上设有与齿条啮合的齿轮。
3.根据权利要求2所述自动对焦电学显微镜，其特征在于，所述Z轴电机(301)为步进电机。
4.根据权利要求1所述自动对焦电学显微镜，其特征在于，平面运动平台(200)包括X轴电机、X轴丝杆、X轴平台(201)、Y轴电机、Y轴丝杆和Y轴平台(202)；
所述X轴平台(201)滑动固定在底座(100)上，所述X轴电机通过X轴丝杆驱动X轴平台(201)位移；
所述Y轴平台(202)滑动固定在X轴平台(201)上，所述Y轴电机通过Y轴丝杆驱动Y轴平台(202)位移。
5.根据权利要求4所述自动对焦电学显微镜，其特征在于，所述X轴电机和Y轴电机为伺服电机。
6.根据权利要求1所述自动对焦电学显微镜，其特征在于，所述底座(100)上设有透射光源，所述透射光源位于平面运动平台(200)下方。
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