[实用新型]一种远程等离子体源RPS腔体结构

权利要求书

1.一种远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，包括：

进气腔，所述进气腔横向设置，且进气腔一端设有进气口，另一端底部设有点火口；

进气喷嘴，所述进气喷嘴设置在所述进气口；

电离腔，所述电离腔竖向设置在所述点火口上方，且电离腔的底端与所述进气腔另一端顶部连通设置，所述电离腔的口径大于所述进气腔口径；

出气腔，所述出气腔横向设置在所述电离腔上方，且出气腔一端与所述电离腔顶端连通，另一端设有排气口；

回流腔，所述回流腔连通所述电离腔顶端与所述进气腔靠近所述进气口一侧顶部。

2.根据权利要求1所述的远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，所述进气喷嘴包括与所述进气口匹配的进气挡板，所述进气挡板上两侧对称设有固定螺栓孔，所述进气挡板上均匀设有进气孔，所述进气孔包括设置在所述进气挡板中心的中心进气孔和以所述中心进气孔为圆心均匀设置的若干圈外围进气孔。

3.根据权利要求2所述的远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，所述外围进气孔的内径沿远离所述中心进气孔方向依次增大设置。

4.根据权利要求3所述的远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，所述外围进气孔包括一圈内圈进气孔和一圈外圈进气孔，所述外圈进气孔的孔径是所述内圈进气孔的孔径的1.15～1.25倍。

5.根据权利要求1所述的远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，所述电离腔口径是所述进气腔口径的1.15～1.25倍。

6.根据权利要求1至5任一所述的远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，所述回流腔分为横向段和竖向段，所述横向段一端连接所述电离腔顶端和所述竖向段顶端，所述竖向段底端与所述进气腔靠近所述进气口一侧顶部连通设置，所述横向段与所述竖向段之间设有单向阀。

7.根据权利要求6所述的远程等离子体源RPS腔体结构，其特征在于，所述横向段口径与所述出气腔口径相同，所述竖向段口径与所述电离腔口径相同。