[实用新型]一种氦检工装

权利要求书

1.一种氦检工装，其特征在于，包括固定组件、运动组件、设于运动组件下部的喷氦组件以及设于工作台面的检漏工装；

所述固定组件上设有上下移动单元，所述运动组件与上下移动单元固定连接；

所述喷氦组件包括罩体，罩体固定安装在所述运动组件上，并通过运动组件连与所述检漏工装配合，所述喷氦组件的氦气出口与若干所述检漏工装相对应；

所述检漏工装包括底座，底座内设有用于对工件进行检漏的抽真空腔，所述抽真空腔内装有密封垫及过滤片，下部连接真空发生器。

2.根据权利要求1所述的氦检工装，其特征在于，所述固定组件包括支架，所述支架固定安装在工作台面上，所述上下移动单元安装在支架的侧部。

3.根据权利要求2所述的氦检工装，其特征在于，所述上下移动单元内包括导向轴及气动执行组件，所述导向轴通过导向轴支架竖直固定于支架上，所述气动执行组件固定连接在支架的侧部。

4.根据权利要求3所述的氦检工装，其特征在于，所述运动组件包括直线轴承、第一固定架、第二固定架，所述直线轴承与所述导向轴配合，所述第一固定架与气动执行组件的输出端固定连接，所述第二固定架与所述第一固定架固定连接，所述喷氦组件固定安装在第二固定架的底部。

5.根据权利要求4所述的氦检工装，其特征在于，所述喷氦组件还包括罩封板，所述罩封板固定连接在所述罩体的顶部，并且所述罩体通过所述罩封板与所述第二固定架连接；

所述罩体内固定安装有喷氦接头。

6.根据权利要求5所述的氦检工装，其特征在于，所述罩封板的中部设有贯穿罩封板的第一孔，所述喷氦接头通过所述第一孔与氦气气源连接。

7.根据权利要求1所述的氦检工装，其特征在于，所述过滤片为片状的过滤网。

8.根据权利要求6所述的氦检工装，其特征在于，所述喷氦接头通过电磁阀与所述氦气气源连接。

9.根据权利要求8所述的氦检工装，其特征在于，所述电磁阀固定安装在第一固定架的外侧。