[实用新型]一种砂浆回流滤网机构

说明书

本实用新型公开了一种砂浆回流滤网机构，包括第一管体，所述第一管体上密封连接有第二管体，所述第一管体与所述第二管体之间设置有滤芯；所述第一管体的内部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积，所述第二管体具有第三管腔，所述第三管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积。本实用新型通过该滤网结构，一方面使得回流的路径上的砂浆形成一定的缓冲作用，形成类似蓄能器的作用，另一方面利用该滤网结构对杂质进行过滤。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工用的砂浆装置技术领域，具体为一种砂浆回流滤网机构。

背景技术

在硅片切割加工的过程中，砂浆是不可或缺的，并影响着硅片的制造质量，在实际的使用过程中，砂浆在切割时会从切割处回流到回流缸，然后在重复利用，在这过程中，砂浆的流速、流量等都会对回流缸产生一定的影响，造成回流缸运行不稳等情况，另外在回流的过程中，切割产生的碎片也可能伴随砂浆进入回流缸，进而对回流缸产生影响。

实用新型内容

针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种砂浆回流滤网机构，通过该滤网结构，一方面使得回流的路径上的砂浆形成一定的缓冲作用，形成类似蓄能器的作用，另一方面利用该滤网结构对杂质进行过滤。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供一种砂浆回流滤网机构，包括第一管体，所述第一管体上密封连接有第二管体，所述第一管体与所述第二管体之间设置有滤芯；

其中，所述第一管体的内部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积，所述第二管体具有第三管腔，所述第三管腔的横截面积大于所述第一管腔的横截面积。

优选地，所述滤芯包括依次设置的第一滤网、第二滤网以及第三滤网，所述第一滤网与所述第二滤网之间、所述第二滤网与所述第三滤网之间均具有容置空间。

优选地，所述第一滤网与所述第二滤网的结构相同，且均为球面的一部分，所述第一滤网与所述第二滤网对扣抵紧在一起形成中间外凸的“橄榄球”状；

所述第三滤网呈圆锥状结构，所述第二滤网抵紧在所述第三滤网的扩口端处，并朝向所述第三滤网的尖端凸起。

优选地，所述第一滤网与所述第二滤网可拆卸连接，所述第二滤网与所述第三滤网可拆卸连接。

优选地，所述第一滤网与所述第二滤网之间设置隔垫。

优选地，所述第一管体的端部开设有供所述第二滤网和所述第三滤网安装的第一槽口，所述第二管体的端部开设有供所述第一滤网安装的第二槽口。

优选地，所述第一管体的内壁上开设有若干个通孔，所述第二管腔通过所述通孔与所述第一管体的外部空间相通；

所述通孔内密封设置有堵头。

优选地，所述第一管体与所述第二管体可拆卸连接。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过第一管体内径的变化，使得在砂浆回流的路径上具有一段内腔容积增加的路径，进而扩张了管路，使得砂浆流动时具有一定的缓冲作用，进而能够在一定程度上降低砂浆流动不稳的情况；

本实用新型的滤芯采用多个滤网的设置，一方面能够对砂浆进行过滤，另一方面能够对回流的砂浆进行一定程度的分流，进一步降低砂浆流动时带来的冲击。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。