[实用新型]靶材密封面修复工装

说明书

本实用新型公开了一种靶材密封面修复工装，包括具有滑行轨道的工作平台、安装于所述工作平台的中部的靶材承接机构及与所述靶材承接机构组配并用于为靶材的密封面倒角的倒角机构，所述倒角机构包括相对间隔设置的两个砂轮组件，两个所述砂轮组件沿所述滑行轨道的方向分别设置于所述靶材承接机构的两侧，且两个所述砂轮组件可沿所述滑行轨道同时相向或背向移动。与相关技术相比，本实用新型提供的靶材密封面修复工装，能够对靶材的密封面进行修复、且自动化程度与可靠程度更好。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种靶材密封满修复工装。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，按制作工艺划分，靶材有电弧靶材、溅射靶材、蒸镀靶材等。靶材需要进行机械加工，使其平面度、平行度及表面质量达到半导体产品生产的要求。

请参阅图1，图1为现有技术中常规的圆筒靶材沿轴线的剖视图，当靶材经过机械加工成型后，其密封面在的A、B处的倒角容易在顶尖、吊装及搬运过程中损坏，进而对靶材的性能造成影响。

因此，有必要提供一种能够对靶材的密封面进行修复、且自动化程度与可靠程度更好的靶材密封面修复工装来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够对靶材的密封面进行修复、且自动化程度与可靠程度更好的靶材密封面修复工装。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案:

一种靶材密封面修复工装，包括具有滑行轨道的工作平台、安装于所述工作平台的中部的靶材承接机构及与所述靶材承接机构组配并用于为靶材的密封面倒角的倒角机构，所述倒角机构包括相对间隔设置的两个砂轮组件，两个所述砂轮组件沿所述滑行轨道的方向分别设置于所述靶材承接机构的两侧，且两个所述砂轮组件可沿所述滑行轨道同时相向或背向移动。

优选的，所述砂轮组件包括部分嵌设于所述滑行轨道内的主体板、自所述主体板的两侧向所述工作平台弯折延伸形成的两个导向台，所述工作平台包括支撑台、与所述支撑台固定连接的工作板、自所述工作板两侧的中部弯折延伸形成的两个延伸台、分别嵌设于两个所述延伸台内的两个轴承及安装于两个所述轴承的两个相平行的双向丝杆，所述滑行轨道设置于所述工作板，两个所述延伸台分别设置于所述滑行轨道设置方向的两侧，所述双向丝杆的两端分别贯穿两个所述导向台并与所述导向台螺纹连接。

优选的，所述砂轮组件还包括自所述主体板的中部向远离所述导向台的方向延伸出的组装台、嵌设于所述组装台内并与所述滑行轨道平行的组装杆、设置于所述组装杆对应两个所述组装台的相对侧的砂轮及设置于所述组装杆对应两个所述组装台的相背侧的第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述组装杆旋转，进而带动所述砂轮旋转。

优选的，所述第一驱动件为电机。

优选的，所述工作平台还包括设置于所述工作板沿所述滑行轨道的设置方向的一端的限位件，所述限位件自所述工作板的一端向远离所述支撑台的方向弯折延伸形成。

优选的，所述工作平台还包括与所述限位件固定连接的缓冲件，所述缓冲件设置于所述限位件靠近所述滑行轨道的一侧。

优选的，所述缓冲件为橡胶。

优选的，所述靶材承接机构包括嵌设于所述支撑台内的升降杆、驱动所述升降杆伸缩的第二驱动件、与所述工作平台抵接并与所述升降杆固定连接的升降板、设置于所述升降板远离所述第二驱动件一侧的承接板及与所述第二驱动件电连接的控制按钮，所述承接板远离所述升降板的表面为圆弧面，所述控制按钮设置于所述工作板远离所述延伸台的表面。