[实用新型]扫描电镜大面积EBSD试样用样品台

说明书

本实用新型涉及一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，属于扫描电镜技术领域。扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，包括圆柱底座、带凹槽的夹具和若干螺钉，带凹槽的夹具由底板和两个挡板组成，其中一个挡板上设置螺纹孔；螺钉穿过螺纹孔将放置在夹具中的样品固定在螺钉与不带螺纹孔的挡板之间。本实用新型样品台的结构简单，操作方便，机械固定牢固，不易漂移，可以测量大面积EBSD样品，或同时测量多个镶嵌样品，极大的提高了检测质量及效率。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜技术领域，尤其涉及一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台。

背景技术

EBSD(Electron Backscattered Diffraction电子背散射衍射)技术是目前越来越被广泛使用的微观组织分析方法。利用装备在的扫描电子显微镜的EBSD探头，接收电子束逐点扫描激发的衍射花样，可以获取样品微区的晶粒取向、相结构、取向差、晶界特征等丰富的微观组织信息。

EBSD测试要求样品倾斜70度，以便探头接收衍射花样。通常可以将样品测试面保持水平放入样品座，在电镜中将样品座旋转70度的方式满足倾斜要求；另一个方法就是使用预置70度倾斜角的样品台固定样品。

目前常用的EBSD样品台主要存在三个问题：1)为减小样品座与极靴、EBSD探头碰撞的风险，样品台尺寸设计较小，大部分在直径20mm以内，无法测试大块样品以及镶嵌样品，特别是尺寸在30mm以上的大面积EBSD试样。2)部分型号的扫描电镜内部样品座体积较大，样品座未倾斜的情况下伸入EBSD探头，会发生碰撞，无法使用预置倾斜角的样品台；3)部分样品的固定依靠导电胶带的粘合，进行EBSD测试时，受样品重力作用会导致导电胶带变形，使得样品发生漂移，影响测试结果的真实性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种结构简单、使用便捷的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，可以测量大面积EBSD样品，或同时测量多个镶嵌样品，同时机械固定牢固，不易漂移，极大的提高了检测效率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，包括圆柱底座、带凹槽的夹具和若干螺钉，所述带凹槽的夹具由底板和两个挡板组成，其中一个挡板上设置螺纹孔；所述的螺钉穿过螺纹孔将放置在夹具中的样品固定在螺钉与不带螺纹孔的挡板之间。

所述的圆柱底座的尺寸与扫描电镜样品座的尺寸相匹配，所述的圆柱底座可放入扫描电镜样品座内机械固定，保证整个样品台的稳定性。

所述螺钉穿过挡板的螺纹孔，将放置在夹具底板上的样品的一侧固定并贴紧不带有螺纹孔的另一个挡板，根据放置样品的宽度，旋转螺钉，可将样品固定牢固。所述的螺纹孔的个数为3-6个。

所述的两个挡板分别固定在底板相对的两端得到带凹槽的夹具，所述带凹槽的夹具长度为30mm-75mm，宽度为15mm-35mm，高度为6mm-10mm，在长度方向上最大限度地发挥了扫描电镜最大检测样品尺寸范围，在进行EBSD测试时，样品台沿长度方向移动毫无碰撞风险。

本实用新型的有益效果是：

(1)结构简单，操作方便，样品稳定、测试精确，解决了导电胶带的固定样品导致测试漂移的问题。

(2)本实用新型样品台满足大块试样拼接EBSD测试需求，可放入样品的最大尺寸长宽高可达75mm×30mm×10mm。

(3)本实用新型样品台可同时放置3个直径25mm的镶嵌样品，或14个10mm×10mm×10mm的块体样品，多样品测试节约了频繁抽放真空，交换样品的时间，提高了检测效率。

附图说明

图1为本实用新型样品台的结构示意图。