[实用新型]用于快速测量气体颗粒物浓度的芯片和装置

权利要求书

1.一种用于快速测量气体颗粒物浓度的芯片，其特征在于，包括设置在颗粒物沉积区域的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极具有并排走线的导线部分，其中，所述第一电极的所述导线部分上形成有朝向所述第二电极的凸起，和/或所述第二电极的所述导线部分上形成有朝向所述第一电极的凸起。

2.如权利要求1所述的芯片，其特征在于，所述凸起为尖刺形凸起。

3.如权利要求1所述的芯片，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的所述导线部分的间距为20～100μm，所述凸起的伸出高度为1～10μm。

4.如权利要求1所述的芯片，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极各自具有间隔分布的多个所述凸起，所述第一电极的所述凸起与所述第二电极的所述凸起中的至少一部分凸起成对地相向延伸。

5.如权利要求1至3任一项所述的芯片，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的所述导线部分相互平行，且具有曲折延伸段。

6.如权利要求1至3任一项所述的芯片，其特征在于，所述第一电极和第二电极的材料为贵金属，所述贵金属为铑、钌、钯、锇、铱、铂、金、银中的任一种。

7.如权利要求1至3任一项所述的芯片，其特征在于，所述第一电极和第二电极的材料为金属与陶瓷、或金属与玻璃相的复合材料。

8.如权利要求1至3任一项所述的芯片，其特征在于，还包括陶瓷板，所述第一电极和第二电极为在所述陶瓷板上蚀刻形成的电极。

9.一种用于快速测量气体颗粒物浓度的装置，其特征在于，包括如权利要求1至3任一项所述的芯片以及吸附电压发生器，所述吸附电压发生器与所述第一电极和所述第二电极相连，用于在所述第一电极和所述第二电极之间施加电压以使所述凸起累集静电荷以吸附生长颗粒物，颗粒物在所述第一电极和所述第二电极之间形成导电通道，从而改变所述第一电极和所述第二电极之间的电阻。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括用于向所述第一电极和/或所述第二电极提供电阻测量电信号的电流源。