[实用新型]气相沉积设备观察窗保护装置

权利要求书

1.一种气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：它包括穿设于观察窗旁侧壁面上的轴座组件、穿设于轴座组件内且能相对轴座组件转动的转轴组件以及下端固设于转轴组件内端部且通过转轴组件转动进行摆动的悬臂以及与悬臂上端固定且能随悬臂摆动遮罩或摆离观察窗的遮挡结构。

2.根据权利要求1所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述轴座组件包括穿设于观察窗旁侧壁面上且设有容转轴组件穿过的传动孔的固定座、设于传动孔内的一个以上轴承单元以设于传动孔端部的一个以上传动孔密封单元。

3.根据权利要求2所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述传动孔密封单元包括套设于转轴组件外且设于传动孔端部的防漏螺帽以及设于防漏螺帽与轴承单元之间的一个以上轴孔密封单元。

4.根据权利要求2所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述固定座外壁面的内外两端设有与观察窗旁侧内外壁面配合固定并密封固定座外周面的固封组件。

5.根据权利要求1所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述遮挡结构包括固定于悬臂上能对观察窗进行遮挡的遮罩以及套设在遮罩外边缘上的密封圈。

6.根据权利要求1所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：它还包括设于观察窗旁的外壁面上且与转轴组件相配合的转轴定位组件。

7.根据权利要求6所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述转轴定位组件包括固设于观察窗旁的外壁面上的调整座以及固设于调整座上的顶靠定位单元；所述转轴组件上设有与顶靠定位单元相配合且沿转轴组件轴向延伸的定位槽。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述转轴组件包括穿设于轴座组件内的旋转轴、固设于旋转轴外端上的旋钮以及令旋转轴保持轴向外运动趋势的弹性件。

9.根据权利要求8所述的气相沉积设备观察窗保护装置，其特征在于：所述弹性件为套设于旋转轴外且顶靠于旋钮与固定座之间的压力弹簧。