[实用新型]用于长晶炉的支撑组件和长晶炉组件

说明书

本实用新型公开了一种用于长晶炉的支撑组件和长晶炉组件，长晶炉包括由上向下依次相连的第一炉体组件、第二炉体组件和第三炉体组件，第一炉体组件与第二炉体组件可分离配合，第二炉体组件与第三炉体组件可分离配合，支撑组件包括第一支撑装置、第二支撑装置和第三支撑装置，第一支撑装置适于与第一炉体组件相连以至少驱动第一炉体组件上下移动，第二支撑装置适于与第二炉体组件相连以至少驱动第二炉体组件绕第二支撑装置的中心轴线转动，第三支撑装置适于与第三炉体组件相连以至少驱动第三炉体组件上下移动。根据本实用新型的用于长晶炉的支撑组件，可以有效缩短量产工时，避免长晶炉热场对下一周期的晶体生长产生影响。

技术领域

本实用新型涉及长晶设备技术领域，尤其是涉及一种用于长晶炉的支撑组件和长晶炉组件。

背景技术

相关技术中，长晶炉量产过程中需要清炉、装料，例如通过人工拆卸部件、再进行组装，导致量产工时较长、效率较低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于长晶炉的支撑组件，所述支撑组件可以有效缩短量产工时，避免长晶炉热场对下一周期的晶体生长产生影响。

本实用新型还提出一种具有上述支撑组件的长晶炉组件。

根据本实用新型第一方面的用于长晶炉的支撑组件，所述长晶炉包括炉体组件，所述炉体组件包括由上向下依次相连的第一炉体组件、第二炉体组件和第三炉体组件，所述第一炉体组件与所述第二炉体组件可分离配合，所述第二炉体组件与所述第三炉体组件可分离配合，其中，所述第一炉体组件内限定出拉晶室，所述第二炉体组件和所述第三炉体组件内共同限定出晶体生长室，所述晶体生长室与所述拉晶室连通且用于放置所述长晶炉的坩埚，所述支撑组件包括：第一支撑装置，所述第一支撑装置适于与所述第一炉体组件相连以至少驱动所述第一炉体组件上下移动；第二支撑装置，所述第二支撑装置适于与所述第二炉体组件相连以至少驱动所述第二炉体组件绕所述第二支撑装置的中心轴线转动；第三支撑装置，所述第三支撑装置适于与所述第三炉体组件相连以至少驱动所述第三炉体组件上下移动。

根据本实用新型的用于长晶炉的支撑组件，通过设置第一支撑装置至少用于驱动第一炉体组件上下移动、第二支撑装置至少用于驱动第二炉体组件绕第二支撑装置的中心轴线转动、第三支撑装置至少用于驱动第三炉体组件上下移动，有效缩短了量产过程中的清炉时间和装料时间，从而缩短了量产工时，有利于提升量产效率。

在一些实施例中，所述第一炉体组件包括第一炉体本体和设在所述第一炉体本体内的冷却结构，所述第一支撑装置包括：第一支撑柱；第一连接臂，所述第一连接臂适于与所述第一炉体组件相连，所述第一连接臂通过第一升降机构可升降地设在所述第一支撑柱上，以用于驱动所述第一炉体组件在第一位置和第二位置之间上下移动，所述第一位置位于所述第二位置的上方，且所述第一连接臂通过第一旋转机构可转动地设在所述第一支撑柱上，以用于驱动所述第一炉体组件绕所述第一支撑柱的中心轴线转动。

在一些实施例中，所述第一旋转机构构造成在所述第一连接臂将所述第一炉体组件驱动至所述第一位置时，所述第一连接臂可相对所述第一支撑柱转动。

在一些实施例中，所述第二炉体组件包括第二炉体本体和设在所述第二炉体本体内的保温层和导流筒，所述第二支撑装置包括：第二支撑柱；第二连接臂，所述第二连接臂适于与所述第二炉体组件相连，所述第二连接臂为多个且每个所述第二连接臂通过第二旋转机构可转动地设在所述第二支撑柱上，多个所述第二连接臂分别用于驱动不同的所述第二炉体组件绕所述第二支撑柱的中心轴线转动。

在一些实施例中，所述第二连接臂为两个，每个所述第二连接臂沿所述第二支撑柱的径向延伸，两个所述第二连接臂之间的夹角位于90°～180°范围内。

在一些实施例中，所述第二连接臂通过第二升降机构可升降地设在所述第二支撑柱上，以用于驱动所述第二炉体组件上下移动。