[实用新型]一种COF曝光机专用精密多功能工件台有效
| 申请号： | 202022767953.4 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN213399198U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 戚爱康;计晓东;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 上达电子（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 张帅 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区沙井街道黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cof 曝光 专用 精密 多功能 工件 | ||
1.一种COF曝光机专用精密多功能工件台，其特征在于：包括吸附板（1）、XYθ工作台（2）和Z工作台（3），所述的吸附板（1）设置在XYθ工作台（2）的顶部，XYθ工作台（2）底部连接Z工作台（3），XYθ工作台（2）包括θ驱动板（4）、XY驱动板（5）和XYθ工作台基板（6），Z工作台（3）包括Z顶部基板（7）、Z驱动基板（8）和Z基板（9），COF基材（10）通过吸附板（1）吸附在多功能工件台上，所述的吸附板（1）有效区域内表面上设有密集的小孔（11）。
2.根据权利要求1所述的一种COF曝光机专用精密多功能工件台，其特征在于：所述的吸附板（1）包括铝合金基材（12）和特氟龙涂层（13），特氟龙涂层（13）喷涂在铝合金基材（12）表面。
3.根据权利要求1所述的一种COF曝光机专用精密多功能工件台，其特征在于：所述的吸附板（1）分为4个区域，4个区域的吸附板的小孔上分别植入光量感应装置，光量感应装置通过导线将数据传输到控制电脑。
4.根据权利要求1所述的一种COF曝光机专用精密多功能工件台，其特征在于：所述的吸附板（1）的铝合金基材（12）采用S6061-T6铝合金。
5.根据权利要求1所述的一种COF曝光机专用精密多功能工件台，其特征在于：所述的小孔（11）直径为0.5mm。
6.根据权利要求1所述的一种COF曝光机专用精密多功能工件台，其特征在于：所述的吸附板（1）4个区域上植入光量感应装置均匀设置在每个区域的边角和中心位置，光量感应装置每个区域设置9个。
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