[实用新型]一种集成电路生产用排气节能设备有效

专利信息
申请号: 202022768208.1 申请日: 2020-11-26
公开(公告)号: CN213988830U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 吴桂泉 申请(专利权)人: 深圳龙芯半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F25D31/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市龙华区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 集成电路 生产 排气 节能 设备
【权利要求书】:

1.一种集成电路生产用排气节能设备,包括底箱(1),其特征在于:所述底箱(1)内壁的左侧开设有进风口(2),所述进风口(2)的内部插接有过滤网(3),所述底箱(1)内壁的底部栓接有生产台(4),所述底箱(1)内壁的底部并位于生产台(4)的右侧栓接有鼓风机(5),所述鼓风机(5)的左侧连通有吸风管(6),所述吸风管(6)的另一端连通有风板(7),所述风板(7)位于生产台(4)右上方,所述鼓风机(5)的右侧连通有分流器(8),所述分流器(8)的右侧及前后两侧均连通有连接管(9),所述连接管(9)的另一端贯穿通过底箱(1)的前后两侧及右侧,所述分流器(8)的底部栓接有支杆(10),所述支杆(10)的底部与底箱(1)内部的底部栓接。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用排气节能设备,其特征在于:所述底箱(1)的前后两侧及右侧的表面均栓接有出风板(11),所述连接管(9)与出风板(11)插接,所述连接管(9)的另一端延伸至底箱(1)的右侧并连通有冷凝箱(12),所述出风板(11)的内部滑动连接有固定板(13),所述固定板(13)的中部插接有过滤网(3),所述固定板(13)的顶部栓接有提手(14),所述固定板(13)的顶部并位于提手(14)的右侧栓接有销孔(15),所述底箱(1)前侧的顶部栓接有插销(16),所述插销(16)与销孔(15)插接。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用排气节能设备,其特征在于:所述连接管(9)贯穿通过冷凝箱(12)的左侧并连通有冷凝管(17),所述冷凝管(17)的另一端连通有出风口(18),所述冷凝箱(12)的右侧开设有缺口(19),所述缺口(19)的内部栓接有三块扰流板(20)。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用排气节能设备,其特征在于:所述底箱(1)的顶部铰接有门板(21),所述门板(21)顶部的前后两侧均栓接有把手(22)。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路生产用排气节能设备,其特征在于:所述底箱(1)顶部的左侧栓接有锁头(23),所述门板(21)的顶部并位于把手(22)之间栓接有锁柱(24),所述锁头(23)贯穿通过门板(21)的左侧与锁柱(24)插接。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用排气节能设备,其特征在于:所述底箱(1)底部的四角均栓接有安装脚(25)。

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