[实用新型]一种外延薄膜生长承载盘有效
| 申请号： | 202022770695.5 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN213925129U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/18 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 刘小勤 |
| 地址： | 361001 福建省厦门市火炬高*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 外延 薄膜 生长 承载 | ||
1.一种外延薄膜生长承载盘，其特征在于：包括圆盘，所述圆盘上表面设置环形凹槽，所述凹槽内设置至少一个内环，所述内环与所述圆盘可拆卸地连接；所述圆盘的外周设置环形凸起，所述凸起的外沿套接外环，所述外环的外沿与所述圆盘的外沿平齐。
2.根据权利要求1所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述圆盘的直径为163.5-165.5mm。
3.根据权利要求1所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述圆盘的厚度为4-6mm。
4.根据权利要求3所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述凹槽的深度为1-1.5mm。
5.根据权利要求3或4所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述凸起的高度为1-1.5mm，宽度为0.5-1mm。
6.根据权利要求1-4任一项所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述外环的厚度为1.5-2.0mm。
7.根据权利要求1-4任一项所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述凹槽内设置第一内环和第二内环，所述第一内环的外径等于所述第二内环的内径，所述第二内环的外周与所述凹槽的外壁相贴合。
8.根据权利要求7所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述凹槽的内径为40-50mm，外径为70-80mm。
9.根据权利要求8所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述第一内环的内径为40-50mm，外径为55-65mm，高为1-2mm。
10.根据权利要求8或9所述外延薄膜生长承载盘，其特征在于：所述第二内环的内径为55-65mm，外径为70-80mm，高为1-2mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瀚天天成电子科技（厦门）有限公司，未经瀚天天成电子科技（厦门）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022770695.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
