[实用新型]一种扩散泵底加热板结构

说明书

本实用新型涉及扩散泵辅件技术领域，具体地说，涉及一种扩散泵底加热板结构。包括加热板和用于将加热板紧固在扩散泵底部的紧固装置，所述加热板与扩散泵的底部之间设置有石墨纸。本实用新型所述加热板和扩散泵的泵底中间垫石墨纸，可有效填充加热板和扩散泵底的间隙，保证有效传热，且石墨纸有可压缩性，保证重复加热冷却后加热板和扩散泵底始终有效接触传热，防止加热板因温度过高而损毁，同时，采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置，线涨系数小，能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良，从而避免加热板变形、损坏，以保证扩散泵长期稳定运行。

技术领域

本实用新型涉及扩散泵辅件技术领域，具体地说，涉及一种扩散泵底加热板结构。

背景技术

扩散泵是利用扩散泵油进行扩散达到抽真空的一种设备，加热板直接对扩散泵的泵底进行加热，扩散泵的泵底把加热板的热量传导给扩散泵油，扩散泵油沸腾，从而形成扩散。扩撒泵的泵底和加热板用螺栓紧固连接，当扩散泵底的加热板加热时膨胀，加热板膨胀大约一毫米左右，这时螺栓也膨胀，当扩撒泵停止使用的时候，加热板恢复到原来的形状，而螺栓恢复不到原先的紧顶状态，导致加热板和扩撒泵底无法良好的接触，传热效率大大降低。此时，加热板温度比紧顶的状态下高很多，易导致因温度过高而烧毁，同时，扩散泵的泵底与加热板接触点温度也过高，导致扩散泵的泵底因为温度变化不均匀导致变形而无法正常使用。这种平底加热方式，是目前一直沿用的，导致扩散泵的泵底和电热管需要较高的温度才能传递给扩散泵油，这样容易导致加热管和底板变形、损毁。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种扩散泵底加热板结构，解决以上技术问题。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种扩散泵底加热板结构，包括加热板和用于将加热板紧固在扩散泵底部的紧固装置，其特征在于：所述加热板与扩散泵的底部之间设置有石墨纸。

进一步地说，所述石墨纸的压缩厚度1.5mm。

再进一步说，所述紧固装置包括采用不锈钢或耐热钢制作的螺栓、平垫圈、弹簧垫圈和紧固螺母。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型所述加热板和扩散泵的泵底中间垫石墨纸，可有效填充加热板和扩散泵底的间隙，保证有效传热，且石墨纸有可压缩性，保证重复加热冷却后加热板和扩散泵底始终有效接触传热，防止加热板因温度过高而损毁，同时，采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置，线涨系数小，能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良，从而避免加热板变形、损坏，以保证扩散泵长期稳定运行。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。

图2为图1中局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

实施例

参照图1，本实施例所述的扩散泵底加热板结构，包括加热板3和用于将加热板3紧固在扩散泵1底部的紧固装置。所述加热板3与扩散泵1的底部之间设置有石墨纸2。所述石墨纸2的压缩厚度1.5mm。所述紧固装置包括采用不锈钢或耐热钢制作的螺栓4、平垫圈5、弹簧垫圈6和紧固螺母7。

本实用新型所述加热板3和扩散泵1的泵底中间垫石墨纸2，可有效填充加热板3和扩散泵底的间隙，保证有效传热，且石墨纸2有可压缩性，保证重复加热冷却后加热板3和扩散泵底始终有效接触传热，防止加热板3因温度过高而损毁，同时，采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置，线涨系数小，能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良，从而避免加热板3变形、损坏，以保证扩散泵长期稳定运行。

以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制另一方面通过本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型的专利保护范围之内。