[实用新型]一种超精密平行放大式促动器

权利要求书

1.一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：包括放大式促动器主体(1)和压电陶瓷(2)，所述的放大式促动器主体(1)包括陶瓷左固定端(5-1)、四个柔性铰链、下圆弧凸台(7-1)、陶瓷右固定端(5-2)和上圆弧凸台(7-2)，所述的陶瓷左固定端(5-1)、上圆弧凸台(7-2)、陶瓷右固定端(5-2)和下圆弧凸台(7-1)顺次连接形成闭环式中空腔，且陶瓷左固定端(5-1)与上圆弧凸台(7-2)的左端之间、上圆弧凸台(7-2)的右端与陶瓷右固定端(5-2)之间、陶瓷右固定端(5-2)与下圆弧凸台(7-1)的右端之间及下圆弧凸台(7-1)的左端与陶瓷左固定端(5-1)之间分别通过一柔性铰链连接，所述上圆弧凸台(7-2)和下圆弧凸台(7-1)上下对称布置，四个柔性铰链在两个圆弧凸台的左右两侧对称布置，所述的压电陶瓷(2)的两端分别与陶瓷左固定端(5-1)和陶瓷右固定端(5-2)接触，且陶瓷左固定端(5-1)和陶瓷右固定端(5-2)的中心连线与水平线呈夹角α布置，四个柔性铰链、上圆弧凸台(7-2)和下圆弧凸台(7-1)的外侧面均为平面，在放大式促动器主体(1)的上表面贴有若干应变传感器(3)。

2.根据权利要求1所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：所述陶瓷左固定端(5-1)和陶瓷右固定端(5-2)的中心连线与水平线呈夹角α为3-20°。

3.根据权利要求1所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：在放大式促动器主体(1)的左右两侧自上表面至下表面贯穿对称布置四个螺纹孔，且其中一侧的两个螺纹孔与螺钉配合固定放大式促动器，另一侧的两个螺纹孔与螺钉配合连接负载。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：所述压电陶瓷(2)为低压叠堆共烧压电陶瓷。

5.根据权利要求4所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：所述压电陶瓷(2)的长度大于陶瓷左固定端(5-1)的端面和陶瓷右固定端(5-2)的端面之间的垂直距离。

6.根据权利要求1、2或5所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：所述应变传感器(3)设置四个，且两两一组对称布置，四个应变传感器(3)对应四个柔性铰链处布置。

7.根据权利要求6所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：所述柔性铰链的厚度为0.2-1mm。

8.根据权利要求1、2或7所述的一种超精密平行放大式促动器，其特征在于：上圆弧凸台、下圆弧凸台两侧与相应的柔性铰链均为一体制成。