[实用新型]太阳能电池上镀膜的硅片载板

说明书

本实用新型公开了一种太阳能电池上镀膜的硅片载板，包括石墨板和设置在石墨板顶部的载板，载板的顶部开设有用于放置硅片的第一凹槽，第一凹槽的槽底开设有贯通槽底上下端面的气孔；所述石墨板的顶部开设有第二凹槽，硅片的径向尺寸＞第二凹槽的径向尺寸＞气孔的径向尺寸，所述第二凹槽仅通过气孔与外部连通，通过本套装置，将带气孔的载板放置在设有第二凹槽的石墨板顶部，石墨板的第二凹槽内存在的空气不影响硅片真空吸附，同时在出料腔回气时粉尘完全接触该石墨板不会污染到现有载板。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池生产技术领域，涉及太阳能电池上镀膜的硅片的防污染技术，具体为一种太阳能电池上镀膜的硅片载板。

背景技术

整体镀膜需要在真空状态下进行，所以载板满载硅片先进入进料腔后抽到真空状态再进入工艺腔镀膜工艺后进入出料腔，出料腔回气达到大气压状态后经由下传输到自动化上下机。目前平板式上镀膜机台硅片镀膜面朝上放置沉积SINx(或ALOx)，载板上挖槽用于放置硅片，对应每个小凹槽的底部挖出气孔，主要为了自动化上下片吸片时硅片容易被真空吸盘吸起来。这种载板上挖的气孔方便了硅片自动化真空吸附，但是载板在出料腔运行时腔体回气会有粉尘伴随从载板下方吹出，经由载板上小孔吸附在硅片下表面(非镀膜面)，造成污染，影响硅片外观及成片电池片效率良率。

实用新型内容

为了改善载板在出料腔运行时腔体回气会有粉尘伴随从载板下方吹出，经由载板上小孔吸附在硅片下表面(非镀膜面)，造成污染，影响硅片外观及成片电池片效率良率的情况，本实用新型提供了一种太阳能电池上镀膜的硅片载板。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种太阳能电池上镀膜的硅片载板，包括石墨板和设置在石墨板顶部的载板，载板的顶部开设有用于放置硅片的第一凹槽，第一凹槽的槽底开设有贯通槽底上下端面的气孔；所述石墨板的顶部开设有第二凹槽，硅片的径向尺寸＞第二凹槽的径向尺寸＞气孔的径向尺寸，所述第二凹槽仅通过气孔与外部连通。

进一步的，所述第二凹槽的顶部内侧设有环形缺口，所述载板坐落在环形缺口内。

进一步的，所述载板与石墨板之间通过粘结剂粘连。

进一步的，所述载板与石墨板之间通过卡扣连接。

进一步的，所述载板与石墨板之间通过石墨材质的螺栓螺母连接。

相比于现有技术，本实用新型所取得的技术效果为：将带气孔的载板放置在设有第二凹槽的石墨板顶部，石墨板的第二凹槽内存在的空气不影响硅片真空吸附，同时在出料腔回气时粉尘完全接触该石墨板不会污染到现有载板。

附图说明

图1为现有技术中的载板的结构示意图。

图2为现有技术中的载板的第一凹槽和气孔开设的示意图。

图3为本实用新型实施例中的太阳能电池上镀膜的硅片载板的结构示意图。

图4为本实用新型实施例中的太阳能电池上镀膜的硅片载板的石墨板的结构示意图。

图中附图标记为：1.载板，2.石墨板，3.第一凹槽，4.气孔，5.第二凹槽，6.环形缺口。

具体实施方式

本实用新型不局限于下列具体实施方式，本领域一般技术人员根据本实用新型公开的内容，可以采用其他多种具体实施方式实施本实用新型的，或者凡是采用本实用新型的设计结构和思路，做简单变化或更改的，都落入本实用新型的保护范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。