[实用新型]一种晶棒表面损伤层去除装置

权利要求书

1.一种晶棒表面损伤层去除装置，其特征在于，包括：支撑底座(1)、左夹持件(2)、磨料盘(3)、右夹持件(5)、电动推杆(6)、升降底座(7)、升降平台(8)、横移滑道(10)和横移支撑杆(12)，所述支撑底座(1)上连接有相配合设置的所述左夹持件(2)和右夹持件(5)，所述左夹持件(2)和右夹持件(5)用于将水平设置的晶棒(4)端部夹持，且晶棒(4)可相对所述左夹持件(2)和右夹持件(5)自转，所述左夹持件(2)相对所述支撑底座(1)固定，所述右夹持件(5)与水平设置的所述电动推杆(6)的活塞杆固定，所述电动推杆(6)相对所述支撑底座(1)固定，所述晶棒(4)的下方设置有轴向竖直的所述磨料盘(3)，所述磨料盘(3)的下部同轴连接有所述横移支撑杆(12)，所述磨料盘(3)可相对所述横移支撑杆(12)自转，所述横移支撑杆(12)下方水平设置有所述升降平台(8)，所述升降平台(8)上设置有与晶棒(4)延伸方向一致的所述横移滑道(10)，所述横移支撑杆(12)的下端滑动卡接于所述横移滑道(10)上，所述横移支撑杆(12)上连接有驱动其沿所述横移滑道(10)往复横移的横移驱动件，所述升降平台(8)上连接有驱动其升降的所述升降底座(7)。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒表面损伤层去除装置，其特征在于，所述左夹持件(2)和右夹持件(5)均包括：楔形块(13)、导筒(14)、环形保持架(15)、滚珠(16)和顶部支撑件(17)，轴向水平设置的所述导筒(14)内围绕其轴向均匀设置有多个所述楔形块(13)，所述楔形块(13)的倾斜面与所述导筒(14)内壁贴合，且所述楔形块(13)可相对所述导筒(14)的内壁滑动，所述楔形块(13)朝向所述导筒(14)轴心的一侧均活动卡接有滚珠(16)，多个所述滚珠(16)用于将晶棒(4)活动夹持，若干个具有弹性的所述环形保持架(15)贯穿多个所述楔形块(13)，所述环形保持架(15)采用不闭合的环形结构，所述环形保持架(15)用于将多个所述楔形块(13)贯穿成一个整体，所述导筒(14)的端部连接有用于顶紧晶棒(4)端部的所述顶部支撑件(17)，所述顶部支撑件(17)可相对所述导筒(14)自转。

3.根据权利要求2所述的一种晶棒表面损伤层去除装置，其特征在于，所述顶部支撑件(17)包括：压缩弹簧(18)、缓冲腔(19)、定位柱(20)、支撑柱(21)和端部托槽(22)，水平设置的所述定位柱(20)设置于所述导筒(14)底部，所述定位柱(20)的一端与所述导筒(14)轴承连接，所述定位柱(20)内部同轴设置有所述缓冲腔(19)，所述缓冲腔(19)的开口延伸至所述定位柱(20)背离所述导筒(14)底部的一端，水平设置的所述支撑柱(21)的一端设置于所述缓冲腔(19)内，所述支撑柱(21)可相对所述缓冲腔(19)往复滑动，所述支撑柱(21)与所述缓冲腔(19)底部之间连接有水平设置的所述压缩弹簧(18)，所述支撑柱(21)的另一端设置于所述缓冲腔(19)的外部并固定有所述端部托槽(22)，所述端部托槽(22)用于顶紧晶棒(4)的端部。

4.根据权利要求1或3所述的一种晶棒表面损伤层去除装置，其特征在于，所述横移驱动件包括：驱动腔(23)、丝杆(24)、条形孔(25)、螺纹套管(27)、牵拉件(11)和横移导杆(9)，所述升降平台(8)内部设置有所述驱动腔(23)，所述驱动腔(23)的下部设置有与所述横移滑道(10)平行的所述条形孔(25)，所述驱动腔(23)内连接有与所述横移滑道(10)平行的所述丝杆(24)，所述丝杆(24)与所述驱动腔(23)轴承连接，所述丝杆(24)的端部连接有用于驱动所述丝杆(24)转动的电机A，所述丝杆(24)上螺纹连接有所述螺纹套管(27)，竖直设置的所述横移导杆(9)的上端与所述螺纹套管(27)固定，所述横移导杆(9)的下端贯穿所述条形孔(25)延伸至所述驱动腔(23)外部，所述横移导杆(9)与所述横移支撑杆(12)之间连接有所述牵拉件(11)，所述横移导杆(9)沿所述条形孔(25)往复移动时，在所述牵拉件(11)的牵拉作用下驱动所述横移支撑杆(12)沿所述横移滑道(10)往复移动。

5.根据权利要求4所述的一种晶棒表面损伤层去除装置，其特征在于，所述牵拉件(11)采用钢丝绳。