[实用新型]全自动晶圆外观检测机

权利要求书

1.全自动晶圆外观检测机，包括机架(1)，所述机架(1)上设置加工转盘(2)，加工转盘(2)设置有加工盘(21)，所述加工转盘(2)带动加工盘(21)转动，其特征在于：所述加工盘(21)沿转动方向依次经过上料工位(30)、蓝膜检测工位(40)、晶圆检测工位(50)、不合格品收料工位(60)和合格品收料工位(70)；

所述上料工位(30)外侧设置有上料装置(3)，所述蓝膜检测工位(40)上方架设有蓝膜视觉检测器(4)，所述晶圆检测工位(50)上方架设有晶圆视觉检测器(5)，所述不合格品收料工位(60)外侧设置有不合格品收料装置(6)，所述合格品收料工位(70)外侧设置有合格品收料装置(7)。

2.如权利要求1所述全自动晶圆外观检测机，其特征在于：所述上料装置(3)包括料架(31)、上料料盒(32)、升降上料板(33)和上料机械手(34)；所述料架(31)嵌套设置在机架(1)上，所述料架(31)位于上料工位(30)外侧，所述料架(31)右端供上料料盒(32)堆叠摆放，所述升降上料板(33)设置在料架(31)右部前侧，所述上料机械手(34)架设在料架(31)上。

3.如权利要求1所述全自动晶圆外观检测机，其特征在于：所述不合格品收料装置(6)包括不合格品机械手(61)、直线滑轨(62)和不合格品料盒(63)；所述直线滑轨(62)设置在机架(1)上，直线滑轨(62)位于不合格品收料工位(60)外侧，所述直线滑轨(62)上滑动设置不合格品料盒(63)，所述不合格品机械手(61)架设在直线滑轨(62)上方。

4.如权利要求2所述全自动晶圆外观检测机，其特征在于：所述合格品收料装置(7)包括合格品机械手(71)、升降收料板(72)和合格品料盒(73)；所述合格品机械手(71)架设在机架(1)上，并位于合格品收料工位(70)外侧，合格品机械手(71)下方设置升降收料板(72)，所述升降收料板(72)位于料架(31)左侧，所述料架(31)左端供合格品料盒(73)盛放。