[实用新型]一种气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置

权利要求书

1.一种气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，包括原料预处理单元(1)、反应单元(2)、分离脱酸干燥单元(3)、回收单元(4)以及尾气处理单元(5)；

所述原料预处理单元(1)、所述反应单元(2)、所述分离脱酸干燥单元(3)、所述回收单元(4)以及所述尾气处理单元(5)依次通过管道连接；

其中所述分离脱酸干燥单元(3)包括第一袋式除尘器(301)、喷射器(302)、脱酸器(303)以及干燥器(304)，所述反应单元(2)、所述第一袋式除尘器(301)、所述喷射器(302)、所述脱酸器(303)以及所述干燥器(304)依次通过管道连接。

2.根据权利要求1所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述脱酸器(303)的进料口与所述第一袋式除尘器(301)连接，所述脱酸器(303)的出料口与所述干燥器(304)的进料口连接，所述干燥器(304)的出料口设置送料器(10)；

所述脱酸器(303)的出气口和所述干燥器(304)的出气口均与所述回收单元(4)的进料口连接，所述回收单元(4)的出料口与所述脱酸器(303)的进料口连接。

3.根据权利要求2所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述脱酸器(303)的进气口设置通水通气管道(11)，所述干燥器(304)的进气口设置通气管道(12)。

4.根据权利要求1所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述第一袋式除尘器(301)的进气口与所述反应单元(2)连接，所述第一袋式除尘器(301)的出气口与所述尾气处理单元(5)连接，所述第一袋式除尘器(301)的出料口与所述脱酸器(303)连接。

5.根据权利要求3所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述回收单元(4)为第二袋式除尘器，所述第二袋式除尘器的进气口与所述脱酸器(303)以及所述干燥器(304)连接，所述第二袋式除尘器的出气口与所述尾气处理单元(5)连接，所述第二袋式除尘器的出料口与所述脱酸器(303)的连接。

6.根据权利要求1所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述原料预处理单元(1)包括气化器(101)、加热器(102)、空气加热器(103)、氢气加热器(104)以及喷射混合器(105)，所述气化器(101)、所述加热器(102)、所述喷射混合器(105)以及所述反应单元(2)依次通过管道连接，所述空气加热器(103)与所述喷射混合器(105)连接，所述氢气加热器(104)与所述反应单元(2)连接。

7.根据权利要求1所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，还包括余热回收单元(9)，所述余热回收单元(9)为两个且分别与所述反应单元(2)和所述分离脱酸干燥单元(3)连接。

8.根据权利要求5所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述尾气处理单元(5)包括氯化氢吸附机构(6)、尾气无害处理机构(7)以及负压风机(8)，所述氯化氢吸附机构(6)、所述尾气无害处理机构(7)以及所述负压风机(8)依次通过管道连接，所述第一袋式除尘器(301)和所述第二袋式除尘器的出气口均与所述氯化氢吸附机构(6)的进气口连接。

9.根据权利要求8所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述氯化氢吸附机构(6)包括氯化氢吸附器(601)以及第一循环泵(602)，所述第一循环泵(602)一端与所述氯化氢吸附器(601)下部连接，另一端与所述氯化氢吸附器(601)上部连接。

10.根据权利要求8所述的气相法生产二氧化硅及金属氧化物的装置，其特征在于，所述尾气无害处理机构(7)包括尾气无害塔(701)以及第二循环泵(702)，所述第二循环泵(702)一端与所述尾气无害塔(701)上部连接，另一端与所述尾气无害塔(701)下部连接。