[实用新型]一种电子加速器扫描窗冷却风嘴有效
申请号: | 202022791375.8 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN213755079U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 袁宇先;管孝忠;牛政博;庄伟 | 申请(专利权)人: | 青岛兆伏科技有限公司 |
主分类号: | H05H7/00 | 分类号: | H05H7/00 |
代理公司: | 青岛科通知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 37273 | 代理人: | 张晓 |
地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 加速器 扫描 冷却 | ||
本实用新型公开了一种电子加速器扫描窗冷却风嘴,包括扫描窗结构体,所述扫描窗结构体的底端固定连接有上安装环、所述上安装环的下表面通过螺栓安装有下安装环,所述上安装环和下安装环之间设置有钛泊,所述下安装环的下表面固定连接有轨道外环,所述轨道外环的内部开设有上供气腔和下空腔。该电子加速器扫描窗冷却风嘴,通过输入管压缩后的冷空气输入进上供气腔的内部,通过设置连通口和连接管,使冷却压缩空气可以进入内冷却环的出气腔内部,并通过冷却管,对钛泊进行冷却,通过设置输出管和下空腔连通,同时下空腔通过连接管与回收腔连通,从而便于通过回收管,将冷气与钛泊热交换产生的热气,迅速排走,不会使其上升,影响散热效果。
技术领域
本实用新型涉及冷却风嘴技术领域,具体为一种电子加速器扫描窗冷却风嘴。
背景技术
电子加速器的扫描窗通常称钛窗,是保证加速后的电子束由真空进入大气而完成辐射加工目标的关键部件。一般扫描窗上安装厚度0.03-0.05mm的气密钛箔,以隔绝大气与扫描窗内部的高真空,且使电子束能顺利穿过钛箔,打到加工靶材上完成加工目的。为有效散除电子束穿过钛箔时产生的热量,一般钛窗都需配备冷却离心风机,来对钛窗进行散热。
目前,现有的冷却封嘴,没有设置排气组件,导致冷却过程中,冷气钛箔换热后的气流会给后续冷气流动带来阻力,为此,为了提高冷却效率,应该及时排走换热产生的热气流。
本实用新型提出一种电子加速器扫描窗冷却风嘴。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电子加速器扫描窗冷却风嘴,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电子加速器扫描窗冷却风嘴,包括扫描窗结构体,所述扫描窗结构体的底端固定连接有上安装环、所述上安装环的下表面通过螺栓安装有下安装环,所述上安装环和下安装环之间设置有钛泊,所述下安装环的下表面固定连接有轨道外环,所述轨道外环的内部开设有上供气腔和下空腔,轨道外环的内弧面分别开设有两个环形的连通口,两个所述连通口的分别与上供气腔和下空腔连通,所述连通口的内部均插接有连接管,所述连接管远离轨道外环的一端固定连接有内冷却环,所述内冷却环的内部开设有出气腔和回收腔,所述内冷却环的上表面安装有冷却管,所述内冷却环的内弧面固定连接有回收管,所述轨道外环的下表面固定连接有带动内冷却环转动的驱动机构。
优选的,所述轨道外环的左侧固定连接有输入管,所述输入管与上供气腔连通。
优选的,所述轨道外环的右侧固定连接有输出管,所述输入管与下空腔连通。
优选的,所述冷却管与出气腔连通,所述回收管与回收腔连通。
优选的,所述驱动机构包括固定连在内冷却环下表面的驱动管和安装在轨道外环下表面的驱动电机,所述驱动电机输出轴安装有驱动齿轮,所述驱动管的表面固定连接有外齿轮环,所述驱动齿轮与外齿轮环相啮合。
有益效果
本实用新型提供了一种电子加速器扫描窗冷却风嘴,具备以下有益效果:
1.该电子加速器扫描窗冷却风嘴,通过设置输入管,可以将压缩后的冷空气输入进上供气腔的内部,通过设置连通口和连接管,使冷却压缩空气可以进入内冷却环的出气腔内部,并通过冷却管,对钛泊进行冷却,通过设置驱动电机和驱动管,使内冷却环可以转动,从而便于从多方位对钛泊散热,更加高效、全面。
2.该电子加速器扫描窗冷却风嘴,通过设置输出管和下空腔连通,同时下空腔通过连接管与回收腔连通,从而便于通过回收管,将冷气与钛泊热交换产生的热气,迅速排走,不会使其上升,影响散热效果。
附图说明
图1为本实用新型正剖结构示意图;
图2为本实用新型的轨道外环正剖结构示意图;
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