[实用新型]一种飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置有效
| 申请号： | 202022792180.5 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN214417947U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 谭德志;邱建荣;孙珂 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 辐照 玻璃 彩色 图案 装置 | ||
1.一种基于光栅结构的飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置，其特征在于：包括飞秒激光器(1)、半波片(2)、衰减片(3)、扩束镜(4)、X轴振镜(5)、Y轴振镜(6)、物镜(7)、三轴精密位移台(8)和玻璃(9)，飞秒激光器(1)发出激光，激光依次通过半波片(2)、衰减片(3)、扩束镜(4)后入射到X轴振镜(5)，再依次经X轴振镜(5)、Y轴振镜(6)反射后透过物镜(7)入射到三轴精密位移台(8)上面的玻璃(9)上，三轴精密位移台(8)位于物镜(7)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种基于光栅结构的飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置，其特征在于：所述的半波片(2)、衰减片(3)和扩束镜(4)在第一光轴(10)上，第二光轴(11)垂直于第一光轴(10)，X轴振镜(5)处于第二光轴(11)和第一光轴(10)的交叉处，第三光轴(12)垂直于第二光轴(11)，Y轴振镜(6)处于第二光轴(11)和第三光轴(12)的交叉处，物镜(7)在第三光轴(12)上。
3.根据权利要求2所述的一种基于光栅结构的飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置，其特征在于：所述的第一光轴(10)沿平行于三轴精密位移台(8)的Y轴方向，第二光轴(11)沿平行于三轴精密位移台(8)的X轴方向，第三光轴(12)沿平行于三轴精密位移台(8)的Z轴负向。
4.根据权利要求1所述的一种基于光栅结构的飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置，其特征在于：所述的飞秒激光器(1)的中心波长为1030nm，功率为6w。
5.根据权利要求1所述的一种基于光栅结构的飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置，其特征在于：所述的飞秒激光器(1)的重复频率为1-200kHz，单脉冲能量为1-6μJ。
6.根据权利要求1所述的一种基于光栅结构的飞秒激光辐照玻璃彩色图案化的装置，其特征在于：所述的飞秒激光器(1)的脉宽范围为226fs-6ps。
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