[实用新型]一种方便切换的离子源灯丝结构有效
申请号: | 202022795036.7 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN213958902U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 刘泉 | 申请(专利权)人: | 深圳市实准科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/16 |
代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 冯姣 |
地址: | 518001 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方便 切换 离子源 灯丝 结构 | ||
本实用新型涉及离子源灯丝技术领域,且公开了一种方便切换的离子源灯丝结构,包括灯壳,所述灯壳的顶端两侧均固定安装有接收板,所述接收板的顶端开设有放置槽,所述接收板的底端固定安装有第一电极,所述第一电极的底端固定安装有灯丝。该方便切换的离子源灯丝结构,通过灯壳顶端两侧均设置接收板,接收板顶端开设放置槽,接收板底端安装第一电极,再通过灯壳顶端安装固定板,固定板底端安装第二电极,灯丝的两端分别安装于第一电极于第二电极底端,固定板顶端开设活动槽,活动槽内壁活动连接旋转板,旋转板顶端安装支撑架,支撑架与连接杆活动连接,且连接杆的底端设置于放置槽内,使离子源灯丝能够方便切换。
技术领域
本实用新型涉及离子源灯丝技术领域,具体为一种方便切换的离子源灯丝结构。
背景技术
气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子,并被引出成束。根据不同的使用条件和用途,已研制出多种类型的离子源。使用较广泛的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源,这些都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的,也有广泛的用途。
随着生产水平的提高与科技水平的发展,用户对高水平质量的方便切换的离子源灯丝结构的需求日益增加,而目前的离子源灯丝结构还存在离子源灯丝不方便切换,导致用户使用麻烦影响生产效率的问题,故而我们提出了一种方便切换的离子源灯丝结构来解决上述的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种方便切换的离子源灯丝结构,具备离子源灯丝方便切换,便于用户使用提高生产效率等优点,解决了离子源灯丝不方便切换,导致用户使用麻烦影响生产效率的问题。
(二)技术方案
为实现上述离子源灯丝方便切换,便于用户使用提高生产效率目的,本实用新型提供如下技术方案:一种方便切换的离子源灯丝结构,包括灯壳,所述灯壳的顶端两侧均固定安装有接收板,所述接收板的顶端开设有放置槽,所述接收板的底端固定安装有第一电极,所述第一电极的底端固定安装有灯丝,所述灯壳的顶端固定安装有固定板,所述固定板的底端两侧均固定安装有第二电极,所述固定板的顶端开设有活动槽,所述活动槽的内壁活动连接有旋转板,所述旋转板的顶端固定安装有支撑架,所述支撑架的内壁活动连接有连接杆。
优选的,所述旋转板的顶端开设有通孔,所述通孔的内壁活动连接有卡柱,所述卡柱的顶端固定安装有拉环,所述卡柱的外壁固定安装有挡板,所述挡板的顶端固定安装有第一弹簧,所述活动槽的内壁底端开设有卡槽。
优选的,所述支撑架的底端开设有滑槽,所述滑槽的内壁左侧固定安装有第二弹簧,所述第二弹簧的右侧固定安装有弯杆,所述连接杆的左侧开设有限位槽。
优选的,所述第一电极的底端贯穿灯壳的顶端并延伸至灯壳的内部,第二电极的底端贯穿灯壳的顶端并延伸至灯壳的内部,且第一电极与第二电极的大小一致,所述第一电极、第二电极与灯丝均设置有两个,所述灯丝的一端固定安装于第一电极的底端,所述灯丝的另一端固定安装于第二电极的底端。
优选的,所述支撑架的顶端开设有竖孔,连接杆通过竖孔与支撑架连接,所述连接杆的顶端固定安装有防脱板,所述连接杆的底端设置于放置槽的内部。
优选的,所述卡槽设置有两个,且均开设于活动槽的内壁底端,所述卡柱的底端贯穿通孔并延伸至卡槽的内部,所述通孔的内壁两侧均固定安装有限位块,所述第一弹簧的顶端固定安装于通孔内壁顶端限位块的底端,所述卡柱设置于第一弹簧的内部。
优选的,所述第二弹簧与弯杆均设置于滑槽的内部,所述弯杆的右侧设置于限位槽的内部。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种方便切换的离子源灯丝结构,具备以下有益效果:
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