[实用新型]一种氯硅烷水解处理系统

说明书

本实用新型公开了一种氯硅烷水解处理系统，包括中转罐，设置于中转罐上的充压阀和卸料阀，通过卸料管线与卸料阀相连的淋洗塔，通过充压管线与充压阀相连的氮气存储罐，设置于充压管线上的充压开关阀，斜向连接于卸料管线上并与氮气存储罐相连的冲料管线，设置于冲料管线上的冲料阀，通过管线与淋洗塔相连的喷淋泵，与喷淋泵相连的喷淋管线，设置于淋洗塔顶部并与喷淋管线相连的喷头，设置于淋洗塔内并与卸料管线相连的出料管线，以及设置于中转罐顶部的出气管和底部的排泄管；其中，出料管线伸出淋洗塔内的溶液液面内。本实用新型通过氮气的吹扫保证卸料管线的通畅，确保中转罐内氯硅烷持续进入淋洗塔内水解，实现了氯硅烷的安全高效回收。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制造技术领域，具体涉及一种氯硅烷水解处理系统。

背景技术

多晶硅领域氯硅烷循环回收利用，回收的四氯化硅含硅粉长期存放会堵塞设备储罐出口管道，冷氢化装置因硅粉含量高原因定期外排渣浆料，渣浆料含大量氯硅烷和硅粉，处理时会放出大量氯化氢白烟。

多晶硅公司检修时系统置换或拆除过程中，系统中会有大量氯硅烷残夜放出需要处理，氯硅烷遇空气放出大量氯化氢白烟，放出的氯硅烷无回收价值，氯硅烷挥发有刺激性气，氯硅烷直接放入水中反应剧烈，有大量氯化氢白烟冒出会引发环保事故，浓度大时操作人员吸入会出现晕倒或窒息、浓度达到爆炸范围遇静电明火会出现爆炸着火等重大安全事故，因此需要本领域技术人员设计一种氯硅烷水解处理系统，保证氯硅烷的安全、高效的回收。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种氯硅烷水解处理系统，保证多晶硅制备过程中的氯硅烷安全、高效的回收利用。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种氯硅烷水解处理系统，包括用于中转运输氯硅烷的中转罐，设置于所述中转罐上的充压阀和卸料阀，通过卸料管线与所述卸料阀相连的淋洗塔，通过充压管线与所述充压阀相连的氮气存储罐，设置于所述充压管线上的充压开关阀，斜向连接于所述卸料管线上并与所述氮气存储罐相连的冲料管线，设置于所述冲料管线上的冲料阀，通过管线与所述淋洗塔相连的喷淋泵，与所述喷淋泵相连的喷淋管线，设置于所述淋洗塔顶部并与所述喷淋管线相连的喷头，设置于所述淋洗塔内并与所述卸料管线相连的出料管线，以及设置于所述中转罐顶部的出气管和底部的排泄管；其中，所述出料管线伸出所述淋洗塔内的溶液液面内。

进一步地，所述冲料管线与所述卸料管线上的夹角为45°。

进一步地，所述冲料管线的直径为所述卸料管线直径的1/4～1/2。

进一步地，所述出料管线伸入所述淋洗塔内的溶液液面距离为50cm。

进一步地，所述喷头设置三个，且从上至下间隔排列。

进一步地，所述出料管线为软管线。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

(1)本实用新型通过中转罐车将中转罐运至指定位置，并将卸料管线、充压管线和冲料管线进行连接，通过氮气对喷淋洗塔内气体进行置换，同时在进行中转罐内氯硅烷卸料的过程中，同时开启冲料阀对卸料管线进行吹扫，保证卸料管线的通畅性，卸料管线将中转罐内的氯硅烷通入淋洗塔内进行喷淋水解，实现了氯硅烷的安全高效回收。

(2)本实用新型的喷头设置三个，且从上至下间隔排列，使喷头喷出的液体形成三层的喷淋结构，保证了氯硅烷的充分水解，进一步提升了氯硅烷水解回收的安全与效率。

(3)本实用新型的出料管线采用软管线，极大的方便了出料管线出现堵塞时的疏通，有效的保证了检修维护的效率与安全。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

其中，附图标记对应的名称为：