[实用新型]一种光刻机用CCD系统的精度调节机构

权利要求书

1.一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，包括X向旋转组件和Y向旋转组件，所述X向旋转组件包括X向旋转板、X向旋转定位螺钉、X向复位弹簧、X向连接块和X向调节柱，所述X向旋转定位螺钉穿过X向旋转板，所述X向复位弹簧设于X向旋转板与X向连接块之间，所述X向调节柱一端穿过所述X向连接块，并与所述X向旋转板相抵触；

所述Y向旋转组件包括Y向旋转板、Y向定位板、Y向旋转轴套和Y向复位弹簧，所述X向连接块的侧面与所述Y向旋转板连接，所述Y向旋转板与设于Y向定位板上的Y向旋转轴套连接，所述Y向复位弹簧设于所述Y向旋转轴套的下方，Y向复位弹簧一端与Y向定位板连接，另一端与Y向旋转板连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述X向旋转板中上部设有X向旋转定位孔，所述X向旋转定位螺钉穿过X向旋转定位孔，并与Y向旋转板连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述X向连接块上设有X向调节孔，所述X向调节柱穿过所述X向调节孔，并与所述X向旋转板的顶端相抵触。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述X向旋转板的顶端以及X向连接块的底端均设有X向弹簧定位槽，所述X向复位弹簧设于所述弹簧定位槽内。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述Y向旋转板上设有旋转轴连接件，所述旋转轴连接件与所述Y向旋转轴套连接。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述Y向旋转板上设有Y向定位孔，所述Y向定位孔上穿设有Y向调节柱。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述Y向定位板侧面设有定位柱，所述定位柱上装设有光源定位架。

8.根据权利要求1所述的一种光刻机用CCD系统的精度调节机构，其特征在于，所述Y向定位板与Y向旋转轴套相对的侧面设有滑槽。