[实用新型]用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置有效
| 申请号： | 202022811518.7 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN214322198U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 卞爱露;王兴毅 | 申请（专利权）人： | 领胜城科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/0622;B23K26/08;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 224000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 铜箔 加工 激光 镭射 装置 | ||
1.用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，包括紫外皮秒激光器(10)、光路系统(20)和第一振镜(30)；
所述光路系统(20)包括箱体(21)，所述箱体(21)设有光路入口(22)和光路出口(23)，所述光路入口(22)与所述紫外皮秒激光器(10)的输出端相连接，所述光路系统(20)用于改变激光束的路径，使激光束从所述光路出口(23)射出；
所述第一振镜(30)设于所述箱体(21)的外侧，并且所述第一振镜(30)与所述光路出口(23)对应设置；由所述光路出口(23)射出的激光束经所述第一振镜(30)进行偏转后，正对加工治具(50)。
2.根据权利要求1所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述光路系统(20)还包括棱镜(25)和第二振镜(24)；所述棱镜(25)和第二振镜(24)均配置于所述箱体(21)内，所述光路出口(23)为多个。
3.根据权利要求2所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述紫外皮秒激光器(10)的输出端与所述光路入口(22)之间配置有扩束镜(41)；
所述光路出口(23)与所述第一振镜(30)之间配置有飞行光路(42)；所述第一振镜(30)还与聚焦镜(43)相连接，所述聚焦镜(43)正对加工治具(50)。
4.根据权利要求1、2或3所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述第一振镜(30)与Z向升降机构(60)相连接；所述Z向升降机构(60)包括Z向设置的第一滑轨(61)以及配置于所述第一滑轨(61)上的第一滑块(62)，所述第一振镜(30)通过第一连接件(63)与所述第一滑块(62)固定连接。
5.根据权利要求4所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述第一振镜(30)与X向平移机构(70)相连接；所述X向平移机构(70)包括X向设置的第二滑轨(71)以及配置于所述第二滑轨(71)上的第二滑块(72)，所述第一振镜(30)与所述第二滑块(72)相连接。
6.根据权利要求1、2、3或5所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述加工治具(50)与物料传送机构相配合。
7.根据权利要求6所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述物料传送机构包括进料辊轴(52)和收料辊轴(53)，所述加工治具(50)位于所述进料辊轴(52)与所述收料辊轴(53)之间。
8.根据权利要求6所述的用于铜箔加工的皮秒激光镭射装置，其特征在于，所述加工治具(50)还与冷气枪(51)相配合。
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