[实用新型]一种载物台及检测系统

说明书

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种载物台，包括：底座；凸出部，设于所述底座上方，所述凸出部具有适于待检测件安装在第一安装位置的第一面，和适于所述待检测件安装在第二安装位置的第二面，以及适于所述待检测件安装在第三安装位置的第三面；所述第三面相对于所述底座所在的基准面呈夹角设置。相比于现有技术中，只具有一个检测面的载物台，该载物台有效的增加了待检测件的检测面，在不需要更换载物台的条件下，仍能满足多种测试要求，从而减小了更换载物台的时间，缩短了检测时间，提高了检测效率。本实用新型还提供了一种具有载物台的检测系统。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种载物台及检测系统。

背景技术

载物台也叫镜台，在物镜的下方或上方，用以放置需要观察的样品，形状有方、圆两种。在进行样品检测时，通常将样品放置在载物台上，并配合扫描电子显微镜进行检测。

由于扫描电子显微镜内有自身的倾斜台装置，可进行-10°-30°度倾斜，从而对样品进行倾斜面的检测，但是扫描电子显微镜的倾斜角度有限，因此，无法进行更大角度的倾斜，即不能对样品进行大角度倾斜的检测，导致样品本身的某些轮廓无法充分观测。尤其是对于异质结电池在制绒清洗阶段形成的金字塔，其形貌、尺寸难以做定性分析。另外，当需要同时测试样品的平面及截面检测时，则需更换载物台，并且在更换载物台时，还需要对扫描电子显微镜进行破空及抽真空处理，从而导致花费较多的时间，进而降低了检测所花费的时间。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中载物台在检测时，需要经常更换的缺陷，从而提供一种载物台及检测系统。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种载物台，包括：底座；凸出部，设于所述底座上方，所述凸出部具有适于待检测件安装在第一安装位置的第一面，和适于所述待检测件安装在第二安装位置的第二面，以及适于所述待检测件安装在第三安装位置的第三面；所述第三面相对于所述底座所在的基准面呈夹角设置。

可选的，所述第三面相对于所述基准面的夹角范围为25°-65°。

可选的，所述凸出部在垂直于所述基准面，并同时通过第一面、第二面和第三面的中心线的截面形状呈直角梯形。

可选的，所述底座在对应所述第三面的所在侧的两侧边间隔设置有卡槽；所述第三面相对所述基准面为斜面长度/角度可调节设置，所述第三面的底部卡扣在所述卡槽中。

可选的，所述第三面的底部设置有卷轴，在所述第三面相对所述基准面为斜面长度缩短/角度增大时，所述第三面靠近底部至少部分卷缩在所述卷轴上，所述卷轴的端部卡扣在所述卡槽中。

可选的，所述第三面为可挠性件。

可选的，所述底座和所述凸出部为一体成型件。

可选的，所述底座为柱状结构，所述第一面垂直于所述基准面，所述第二面平行于所述基准面。

本实用新型还提供了一种检测系统，包括本实用新型所述的载物台。

可选的，还包括：导电胶，至少设于所述第一面和第二面、以及第三面的任一面上，用于粘贴所述待检测件；显微镜，所述载物台设于所述显微镜的观察视线范围内，用于检测待检测件。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的载物台，包括：底座；凸出部，设于所述底座上方，所述凸出部具有适于待检测件安装在第一安装位置的第一面，和适于所述待检测件安装在第二安装位置的第二面，以及适于所述待检测件安装在第三安装位置的第三面；所述第三面相对于所述底座所在的基准面呈夹角设置。