[实用新型]一种用于气相合成纳米材料的供料系统

权利要求书

1.一种用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，该系统包括两组以上的前驱体供料装置，各个所述前驱体供料装置的结构相同，均包括载气单元、前驱体单元和混合单元，其中：所述前驱体单元伸入所述混合单元，用于向所述混合单元提供液态前驱体；所述载气单元的末端通过鼓泡喷头(9)伸入所述混合单元，用于向所述混合单元提供载气；所述混合单元通过加热所述液态前驱体以生成前驱体蒸气，并在所述载气的携带下送入前驱体反应器(11)；工作时通过控制每组前驱体供料装置的载气流量和加热温度调节每种前驱体的浓度和流量，以满足气相合成纳米材料制备的要求。

2.如权利要求1所述的用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，所述载气单元包括依次连接的载气源(1)、气阀(2)和气体流量控制器(3)，其中所述载气源(1)用于提供载气，所述气阀(2)用于控制所述载气的通断，所述气体流量控制器(3)用于对所述载气的流量进行计量和控制。

3.如权利要求2所述的用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，所述载气单元还包括颗粒过滤器(4)，所述颗粒过滤器(4)设置在所述鼓泡喷头(9)的前方，用于对所述载气进行颗粒脱除净化。

4.如权利要求2所述的用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，所述载气单元还包括干燥器(5)，所述干燥器(5)设置在所述鼓泡喷头的前方，用于对所述载气进行脱水干燥。

5.如权利要求1所述的用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，所述载气为压缩空气、氮气或氩气。

6.如权利要求1所述的用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，所述前驱体单元包括前驱体储罐(6)和前驱体配量泵(7)，所述前驱体储罐(6)用于储存和供应所述液态前驱体；所述前驱体配量泵(7)一端与所述前驱体储罐(6)连接，其另一端伸入所述混合单元，用于将所述液态前驱体输送到所述混合单元。

7.如权利要求1～6任一项所述的用于气相合成纳米材料的供料系统，其特征在于，所述混合单元包括前驱体加热器(8)和伴热管道(10)，所述前驱体加热器(8)用于加热所述液态前驱体，以生成所述前驱体蒸气，所述伴热管道(10)用于将载气携带的前驱体蒸气加热到欠饱和状态。