[实用新型]一种可循环使用的印模涂层装置

说明书

本实用新型公开了一种可循环使用的印模涂层装置，包括模具、减震板，所述减震板的内部设有第一凹槽，所述第一凹槽的内壁底部固定连接有多个弹簧，所述弹簧的顶部固定连接有基板，所述基板的底面固定连接有第一连板，所述第一连板的底面固定连接有第一连杆，所述第一连杆的底部固定连接有第二连板，所述减震板的底面固定连接有储料套筒，所述储料套筒的内部密封滑动连接有活塞，所述活塞的底面固定连接有第二连杆，所述第二连杆的底部固定连接有第三连板。本实用新型中，减震板对基板有一定的缓冲作用，能提高基板的使用寿命，且通过储料套筒的设置，能对多余的高分子涂层进行回收，避免多余的高分子材料在基板上固定，增加后续处理工序。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种可循环使用的印模涂层装置。

背景技术

现有技术中，纳米压印分为热压印与紫外光固化压印两种类型。纳米热压印通过加温使高分子材料软化，熔融，并通过外加压力，把压印模板上的浮雕式纳米结构印制在熔融的高分子膜上，冷却成型。紫外光固化压印采用粘度低，流动性好的紫外光固化预聚物作为纳米压印材料，把可紫外光固化材料涂在基板上，当模具和紫外光固化预聚物接触使紫外光固化材料很注入模具的凹雕部内，并通过紫外光使其快速固化。

在实际生产中，为了压印完全，采用基板上高分子涂层的体积大于压印模板上凹陷结构的体积，即高分子涂层不仅完全填充压印模板上的凹陷结构，同时在凸起结构与衬底之间还形成残余的压印胶层，使压印模板与基板隔离开来(如图1中所示)。为了进一步传递压印的纳米结构，需要增加一步反应离子束刻蚀工艺来除去压印胶残余层，以暴露出残余层下的衬底，显然，这样大大增加了后续加工的工序与难度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可循环使用的印模涂层装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种可循环使用的印模涂层装置，包括模具、减震板，所述模具的底面设有浮雕部和凹雕部，所述减震板的内部设有第一凹槽，所述第一凹槽的内壁底部固定连接有多个弹簧，所述弹簧的顶部固定连接有基板，所述基板的四周设有立板，所述基板和立板围成开口腔，所述开口腔内设有高分子涂层，所述基板的底面固定连接有第一连板，所述第一连板的底面固定连接有第一连杆，所述第一连杆的底部伸出减震板的下表面且固定连接有第二连板，所述减震板的底面靠近端部处固定连接有储料套筒，所述储料套筒的内部密封滑动连接有活塞，所述活塞的底面固定连接有第二连杆，所述第二连杆的底部伸出储料套筒的底面且固定连接有第三连板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述基板与立板一体成型，所述基板的上表面靠近立板的位置设有第二凹槽，所述第二凹槽的底部通过软管与储料套筒联通。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述减震板的内侧壁上设有滑轨，所述滑轨上滑动连接有滑块，且所述滑块远离滑轨的一侧与立板的外表面固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第三连板位于第二连板的正下方。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述减震板与第一连杆对应位置设有导向孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储料套筒的底壁与第二连杆对应的位置设有过孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储料套筒为保温材料或隔绝紫外线的材料制成。

本实用新型具有如下有益效果：

1、该可循环使用的印模涂层装置，通过减震板的设置，当模具挤压在基板上完成压印时，减震板对基板有一定的缓冲作用，能提高基板的使用寿命。