[实用新型]晶圆电镀挂具锁紧机构

说明书

本实用新型涉及一种晶圆电镀挂具锁紧机构，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，每一锁紧机构分别包括锁紧凸轮和锁紧臂，所述锁紧臂可绕所述锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴所述密封背板的外侧面。本申请操作方便，能够在提高生产加工效率的同时，提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，特别是涉及一种晶圆电镀挂具锁紧机构。

背景技术

晶圆产品电镀设备中，晶圆是通过挂具投放在电镀槽液体内，进行电镀工艺的操作。晶圆每次只电镀一面，另一面需要被密封保护，目前是通过背板及相配的平面密封O型圈密封；传统的密封背板锁紧结构是用圆周均布的螺栓拧紧来对密封圈压缩实现密封，但这一锁紧结构存在诸多缺点，一是螺栓拆装频繁，螺纹副磨损严重并产生金属磨粒对电解液及产品造成污染；二是螺栓一般有10个，人工每次拆装费时费力，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种晶圆电镀挂具锁紧机构，其操作方便，能够在提高生产加工效率的同时，提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种晶圆电镀挂具锁紧机构，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，每一锁紧机构分别包括锁紧凸轮和锁紧臂，所述锁紧臂可绕所述锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴所述密封背板的外侧面。

可选地，所述锁紧凸轮水平设置，在所述锁紧凸轮的侧面周向设置有凸轮轮廓，所述凸轮轮廓为修正余弦曲线。

可选地，所述密封背板的外侧面的边缘设置有台阶面，所述锁紧机构接近于所述台阶面设置，所述锁紧臂绕所述锁紧凸轮转动进而接近或远离所述台阶面，所述锁紧臂转动至其下表面压紧所述台阶面，用于完成锁紧臂对于所述密封背板的锁定。

可选地，所述锁紧臂及所述锁紧凸轮采用聚醚醚酮材料制成。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的晶圆电镀挂具锁紧机构，其中锁紧机构针对晶圆电镀工作环境特点，采用锁紧凸轮与锁紧臂旋转配合的结构，利用锁紧凸轮所特有的下行的修正余弦曲线的凸轮轮廓，导引所述锁紧臂在向内旋转时会平滑向下，也就是说只需旋转锁紧臂就可以实现锁紧臂对于密封背板的正压缩紧，操作顺滑便利，使得对于挂具的拆装节拍可缩短至30秒以内，有效提高生产效率。

进一步地，所述锁紧臂、锁紧凸轮间无金属螺丝锁附，且采用聚醚醚酮材料制成的锁紧机构，具备自润滑功能，其磨损量可控制在最低，有效的改善并最大程度的减少了因磨损磨粒对产品及电解液的污染，如此能够保证电解液质量，也就能更好地提高晶圆电镀的质量。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的晶圆电镀挂具锁紧机构的整体结构示意图；

图2是图1所示晶圆电镀挂具锁紧机构的剖切线A-A截取的示意性剖视图。

其中，附图标记说明如下：

1、晶圆产品，2、密封背板，3、挂具基板，4、锁紧凸轮，5、锁紧臂，6、台阶面。

具体实施方式