[实用新型]一种硅晶片生产用硅片碱蚀机

权利要求书

1.一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的内侧设置有储水池(2)，所述支架(1)的外侧安装有清水箱(3)，所述支架(1)的左侧安装有碱蚀剂箱(4)，所述清水箱(3)的顶端设置有第一导水管(5)，所述碱蚀剂箱(4)的顶端设置有第二导水管(6)，所述储水池(2)的顶端设置有移动组件(7)，所述支架(1)的顶端内侧安装清洗装置(8)，所述第一导水管(5)的顶端安装有第一喷头(9)，所述第二导水管(6)的顶端安装有第二喷头(10)，所述移动组件(7)的外侧安装有夹具(11)；

所述移动组件(7)包括安装板(701)，所述储水池(2)的顶端安装有安装板(701)，所述安装板(701)的内部安装有驱动电机(702)，所述驱动电机(702)的动力输出端安装有螺纹杆(703)，所述螺纹杆(703)的表面螺纹连接有连接块(704)，所述连接块(704)的顶端安装有移动块(705)，所述移动块(705)的表面安装有衔接块(706)，所述衔接块(706)的内部活动连接有连接轴(707)，所述连接轴(707)的端头安装有齿轮(708)，所述安装板(701)的表面安装有齿杆(709)，所述连接轴(707)安装齿轮(708)相对的一端安装有夹具(11)；

所述清洗装置(8)包括固定板(801)，所述支架(1)的顶端内侧安装有固定板(801)，所述固定板(801)的内部螺纹连接有第一螺纹柱(803)，所述第一螺纹柱(803)的端头安装有伺服电机(802)，所述第一螺纹柱(803)的表面螺纹连接有第一滑块(804)，所述第一滑块(804)的内部滑动连接有连接柱(805)，所述连接柱(805)的上方设置有第二螺纹柱(806)，所述第二螺纹柱(806)的表面螺纹连接有第二滑块(807)，所述第一滑块(804)的底部安装有第一喷头(9)，所述第二滑块(807)的底部安装有第二喷头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，其特征在于：所述支架(1)的顶端外侧设置有连接板。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，其特征在于：所述连接块(704)的内部设置有与螺纹杆(703)相适配的螺纹孔，且连接块(704)通过该螺纹孔螺纹连接在螺纹杆(703)的表面。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，其特征在于：所述安装板(701)的表面设置有与移动块(705)相适配的滑槽，且移动块(705)通过该滑槽滑动连接在安装板(701)的表面。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，其特征在于：所述衔接块(706)的内部设置有与连接轴(707)相适配的连接孔，且连接轴(707)通过该连接孔活动连接在衔接块(706)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶片生产用硅片碱蚀机，其特征在于：所述第一滑块(804)和第二滑块(807)的内部均设置有与连接柱(805)相适配的通孔，且第一滑块(804)和第二滑块(807)通过该通孔滑动连接在连接柱(805)的表面。