[实用新型]压电MEMS麦克风及其阵列有效
| 申请号： | 202022826865.7 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN214315603U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 童贝;沈宇;石正雨;段炼 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R19/04;H04R23/02 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 周雷 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 及其 阵列 | ||
1.一种压电MEMS麦克风，其特征在于，所述压电MEMS麦克风包括：
具有背腔的基底、沿着背腔设置于所述基底上的支撑部以及固定于所述支撑部的压电膜片，所述压电膜片包括固定于所述支撑部的锚定部及与所述锚定部相连的活动部，所述活动部沿所述基底的轴向的正投影落入所述背腔内，所述活动部连续弯折形成波浪形结构，
所述波浪形结构包括自所述压电膜片背离所述背腔的第一表面朝向所述背腔凹陷的若干第一凹槽以及自所述压电膜片靠近所述背腔的第二表面背离所述背腔凹陷的若干第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽交错设置。
2.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述压电膜片还包括与所述活动部远离所述锚定部一侧延伸出来的延伸部，所述延伸部沿所述基底的轴向的正投影落入所述背腔内，所述延伸部、所述第二凹槽以及所述锚定部远离所述背腔的一侧齐平。
3.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述第一凹槽以及所述第二凹槽呈U型。
4.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述压电膜片包括依次叠设于所述支撑部上的下电极层、上电极层以及夹设于所述上电极层和所述下电极层之间的压电层。
5.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述压电膜片包括依次叠设于所述支撑部上的下电极层、上电极层、中间电极层、夹设于所述上电极层和所述中间电极层之间的第一压电层以及夹设于所述下电极层和所述中间电极层之间的第二压电层。
6.如权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述锚定部、所述支撑部以及所述基底远离所述背腔一侧齐平。
7.一种压电MEMS麦克风阵列，其特征在于，包括多个如权利要求1-6任一所述的压电MEMS麦克风，多个所述压电MEMS麦克风呈阵列排布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声科技（南京）有限公司，未经瑞声科技（南京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022826865.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
