[实用新型]飞轮式二维材料生长用静态气体混合器有效
申请号: | 202022826962.6 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN214300347U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 | 申请(专利权)人: | 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;涂三民 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 飞轮 二维 材料 生长 静态 气体 混合器 | ||
1.一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,其特征是:它包括呈竖直设置混合筒(1),在混合筒(1)的下段内部安装有第一风叶轮(11),在第一混合筒(1)的中段内部安装有第二风叶轮(12),在混合筒(1)的上段内部安装有第三风叶轮(13),在第一个混合筒(1)的筒底板上固定有第一进气管(3),在对应第一风叶轮(11)位置的第一个混合筒(1)的筒壁上固定有至少一根第二进气管(4),第二进气管(4)的出口偏离第一风叶轮(11)的中心,在筒底板与第一风叶轮(11)之间的混合筒(1)的筒内壁上固定有下隔板(5),在下隔板(5)上开设有下隔板通气孔(51),下隔板通气孔(51)的中心与第一风叶轮(11)的中心呈偏心设置,在对应第一风叶轮(11)与第二风叶轮(12)之间的混合筒(1)的筒内壁上固定有上隔板(6),在上隔板(6)上开设有上隔板通气孔(61),在上隔板(6)的上表面固定有台阶折板(7),台阶折板(7)的上端部位于第二风叶轮(12)的下方,台阶折板(7)的最上一级台阶板紧靠混合筒(1)的右侧筒内壁并与混合筒(1)的右侧筒内壁配合形成狭长气体通道,狭长气体通道偏离第一风叶轮(11)的中心,在对应狭长气体通道位置的台阶折板(7)上固定有第一挡板(71),在对应狭长气体通道位置的混合筒(1)的筒内壁上固定有第二挡板(14),第二挡板(14)与第一挡板(71)呈对插设置,在混合筒(1)的筒顶板上固定有出气管(15)。
2.根据权利要求1所述的飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,其特征是:所述台阶折板(7)的相邻两级台阶板呈垂直设置。
3.根据权利要求1或2所述的飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,其特征是:所述台阶折板(7)的上端部固定有向左侧弯折的导气板(8),导气板(8)与台阶折板(7)的最上一级台阶板呈钝角相连。
4.根据权利要求1所述的飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,其特征是:在混合筒(1)的下段外壁以及上段外壁均固定有加热器(16)。
5.根据权利要求1所述的飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,其特征是:在出气管(15)的外部缠绕有加热丝(2)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的