[实用新型]一种便于吊起的硅片花篮有效
申请号: | 202022833745.X | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN213424949U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 沈杰;姜泉 | 申请(专利权)人: | 常州科讯精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 钮云涛 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 吊起 硅片 花篮 | ||
1.一种便于吊起的硅片花篮,包括:两个端板和固定在两个端板之间的若干齿杆,其特征在于,
所述端板的上端分别开设有至少两个起吊口,且一起吊口的开口处侧壁对应设置有一钩部,所述钩部的内侧开设有一限位槽,且所述钩部的外侧开设有一与所述限位槽连通的卡接槽,所述限位槽和所述卡接槽的厚度均小于所述端板的厚度,以及
所述限位槽和所述卡接槽的连接处转动连接有一转轴,以及所述转轴的外侧壁固定连接有一挡部,所述挡部分别与所述卡接槽和所述限位槽适配;其中
起吊所述端板时,所述挡部从所述卡接槽被按压扣紧所述限位槽内并堵住所述起吊口。
2.如权利要求1所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述挡部包括与所述转轴固定连接的外方管,以及套设滑动在所述外方管内的内方管;其中
所述外方管被扣紧在所述限位槽内后,所述内方管能够从所述外方管滑出并堵住所述起吊口。
3.如权利要求2所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述外方管的开口处设置有第一挡板,且所述内方管的端部设置有第二挡板;其中
所述第一挡板能够挡住所述内方管滑出。
4.如权利要求3所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述钩部的内侧开设有一贯穿所述端板的弧形孔,且所述弧形孔与所述限位槽连通且垂直;以及
所述外方管开设有一贯穿孔,其中
所述外方管被扣紧在所述限位槽内后,所述贯穿孔的内侧壁与所述弧形孔的内侧壁共面。
5.如权利要求4所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述限位槽的端部设置有一扣紧部,且所述扣紧部位于远离所述卡接槽的一端;其中
所述外方管卡入所述限位槽后,所述扣紧部能够扣紧所述外方管。
6.如权利要求5所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述限位槽的端部设有一扣槽,且所述扣槽位于远离所述卡接槽的一端;
所述扣紧部包括安装在所述扣槽内的扣紧弹簧和扣紧块,且所述扣紧块与所述扣槽的内顶面之间形成扣紧区域;其中
所述外方管能够推动所述扣紧块压缩所述扣紧弹簧并扣紧在所述扣紧区域内。
7.如权利要求6所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述卡接槽内设置有卡接部,且所述卡接部位于远离所述限位槽的一端;其中
所述外方管卡入所述卡接槽内后,所述卡接部能够卡紧所述外方管。
8.如权利要求7所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述卡接槽的侧壁开设有一顶紧槽;
所述卡接部包括设置在所述顶紧槽内的卡紧弹簧和卡紧块,且所述卡紧块凸出于所述顶紧槽;其中
所述外方管能够推动所述卡紧块压缩所述卡紧弹簧并卡入所述卡接槽。
9.如权利要求8所述的一种便于吊起的硅片花篮,其特征在于,
所述端板的下端两侧分别开设有支撑槽,且所述端板的上端中部开设有定位槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造