[实用新型]用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置

权利要求书

1.用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置，其特征在于：包括箱体(1)、底槽(2)、底座(3)、排废装置(4)、过滤装置(5)、转轴(6)、外槽排废口(10)和底槽(2)排废口(12)，所述箱体(1)的下方设有底槽(2)，所述箱体(1)的上方设有盖板(7)，所述底槽(2)的下方设有过滤装置(5)，所述过滤装置(5)包括滤网(51)、固定块(52)和把手(53)，所述过滤装置(5)的两侧设有底座(3)，所述底槽(2)通过嵌合的方式连接排废装置(4)，所述排废装置(4)的底部固定连接马达(43)，所述马达(43)通过嵌合的方式连接旋转柱(41)，所述旋转柱(41)通过焊接的方式连接扇叶(42)。

2.根据权利要求1所述的用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置，其特征在于：所述箱体(1)通过嵌合的方式连接开关按钮(9)，所述箱体(1)固定连接蓄电池(8)。

3.根据权利要求1所述的用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置，其特征在于：所述箱体(1)通过焊接的方式连接外槽排废口(10)，所述过滤装置(5)通过嵌合的方式连接底槽(2)排废口(12)。

4.根据权利要求1所述的用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置，其特征在于：所述过滤装置(5)固定连接管道(11)，所述过滤装置(5)通过嵌合的方式连接滤网(51)，所述滤网(51)固定连接固定块(52)，所述固定块(52)通过焊接的方式连接把手(53)。

5.根据权利要求1所述的用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置，其特征在于：所述底槽(2)通过焊接的方式连接底座(3)，所述底座(3)呈对称分布形式。

6.根据权利要求1所述的用于硅片在化学品溶液中反应时能够的定排装置，其特征在于：所述箱体(1)通过螺纹连接转轴(6)，所述转轴(6)通过焊接的方式连接盖板(7)。